吉林师范大学学报（自然科学版）
吉林師範大學學報（自然科學版）
길림사범대학학보（자연과학판）
JILIN NORMAL UNIVERSITY JOURNAL（NATURAL SCIENCE EDITION）
2013年
2期
48-50
,共3页
刘梅%师惠华%葛晶晶%王世苗%徐仕翀
劉梅%師惠華%葛晶晶%王世苗%徐仕翀
류매%사혜화%갈정정%왕세묘%서사충
FeCo/SiO2复合薄膜%磁控溅射%溶胶—凝胶旋涂%结构%磁性
FeCo/SiO2複閤薄膜%磁控濺射%溶膠—凝膠鏇塗%結構%磁性
FeCo/SiO2복합박막%자공천사%용효—응효선도%결구%자성
利用磁控溅射在表面氧化的Si(001)基片上沉积Cu底层,采用溶胶一凝胶旋涂法并结合H2还原工艺在Cu底层上制备了FeCo/SiO2复合薄膜.利用X射线衍射仪和振动样品磁强计研究了Cu底层对复合薄膜结构和磁性的影响.结果表明,Cu底层对复合薄膜的(200)取向生长有明显影响,提高了薄膜的饱和磁化强度,降低了矫顽力,有利于复合薄膜软磁性能的提高.
利用磁控濺射在錶麵氧化的Si(001)基片上沉積Cu底層,採用溶膠一凝膠鏇塗法併結閤H2還原工藝在Cu底層上製備瞭FeCo/SiO2複閤薄膜.利用X射線衍射儀和振動樣品磁彊計研究瞭Cu底層對複閤薄膜結構和磁性的影響.結果錶明,Cu底層對複閤薄膜的(200)取嚮生長有明顯影響,提高瞭薄膜的飽和磁化彊度,降低瞭矯頑力,有利于複閤薄膜軟磁性能的提高.
이용자공천사재표면양화적Si(001)기편상침적Cu저층,채용용효일응효선도법병결합H2환원공예재Cu저층상제비료FeCo/SiO2복합박막.이용X사선연사의화진동양품자강계연구료Cu저층대복합박막결구화자성적영향.결과표명,Cu저층대복합박막적(200)취향생장유명현영향,제고료박막적포화자화강도,강저료교완력,유리우복합박막연자성능적제고.
