工具技术
工具技術
공구기술
TOOL ENGINEERING
2013年
4期
58-60
,共3页
非接触测量%干涉原理%迈克尔逊干涉仪%光电耦合器件
非接觸測量%榦涉原理%邁剋爾遜榦涉儀%光電耦閤器件
비접촉측량%간섭원리%매극이손간섭의%광전우합기건
由于测量空间限制和孔本身的特点,孔径测量难度较大.本文设计一种简单易行、高精确度的测量方案,并对孔径载物台进行了设计.其干涉原理采用迈克尔逊干涉原理,数据的采集则采用CCD传感器.可以在大多数情况下实现孔径的测量,其测量精度达到微米级别.
由于測量空間限製和孔本身的特點,孔徑測量難度較大.本文設計一種簡單易行、高精確度的測量方案,併對孔徑載物檯進行瞭設計.其榦涉原理採用邁剋爾遜榦涉原理,數據的採集則採用CCD傳感器.可以在大多數情況下實現孔徑的測量,其測量精度達到微米級彆.
유우측량공간한제화공본신적특점,공경측량난도교대.본문설계일충간단역행、고정학도적측량방안,병대공경재물태진행료설계.기간섭원리채용매극이손간섭원리,수거적채집칙채용CCD전감기.가이재대다수정황하실현공경적측량,기측량정도체도미미급별.
