提拉单晶炉自动引晶技术的研究
제랍단정로자동인정기술적연구
Study on the Auto-seeding Technique with Czochralski Crystal Grower
  • 万方数据
    压电与声光 압전여성광
    PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
    2014年 1期 97-99 ,共3页

    何晔%佘建军%付昌禄%李金%宋晓佳%武欢%李海林%母江东%邓力

    하엽%사건군%부창록%리금%송효가%무환%리해림%모강동%산력

    提拉法单晶炉%引晶%提拉法(CZ)%红外测温%上称重 提拉法單晶爐%引晶%提拉法(CZ)%紅外測溫%上稱重
    제랍법단정로%인정%제랍법(CZ)%홍외측온%상칭중
    Czochralski crystal grower%seeding%CZ method%IR temperature measurement%Up-weighing
    该文从人工引晶工艺流程人手,结合提拉法单晶炉已有技术和温度测控技术,使用计算机编程技术和传感器测量技术完成人工引晶的各项步骤,实现了提拉法单晶炉引晶技术的全自动化,从而实现真正意义上的全自动单晶炉.
    해문종인공인정공예류정인수,결합제랍법단정로이유기술화온도측공기술,사용계산궤편정기술화전감기측량기술완성인공인정적각항보취,실현료제랍법단정로인정기술적전자동화,종이실현진정의의상적전자동단정로.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문