激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2013年
1期
28-31
,共4页
光学器件%光场分布%模拟%多束表面等离子体激元%干涉
光學器件%光場分佈%模擬%多束錶麵等離子體激元%榦涉
광학기건%광장분포%모의%다속표면등리자체격원%간섭
为了找出多束表面等离子体激元干涉的分布情况,采用严格的解析推导方式,建立了多束表面等离子体激元干涉场的理论模型,在此基础上数值模拟了多束表面等离子体激元干涉产生的2维及3维点阵结构的特性.结果表明,干涉场分辨率可达到1/6波长,并与普通激光多光束干涉场在光场的形状上一致.该研究有助于多束表面离子体激元光刻的进一步研究和阵列型纳米级光学器件的制造.
為瞭找齣多束錶麵等離子體激元榦涉的分佈情況,採用嚴格的解析推導方式,建立瞭多束錶麵等離子體激元榦涉場的理論模型,在此基礎上數值模擬瞭多束錶麵等離子體激元榦涉產生的2維及3維點陣結構的特性.結果錶明,榦涉場分辨率可達到1/6波長,併與普通激光多光束榦涉場在光場的形狀上一緻.該研究有助于多束錶麵離子體激元光刻的進一步研究和陣列型納米級光學器件的製造.
위료조출다속표면등리자체격원간섭적분포정황,채용엄격적해석추도방식,건립료다속표면등리자체격원간섭장적이론모형,재차기출상수치모의료다속표면등리자체격원간섭산생적2유급3유점진결구적특성.결과표명,간섭장분변솔가체도1/6파장,병여보통격광다광속간섭장재광장적형상상일치.해연구유조우다속표면리자체격원광각적진일보연구화진렬형납미급광학기건적제조.
