激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2013年
1期
11-15
,共5页
光学设计与制造%光束匀化%仿真与实验%激光退火
光學設計與製造%光束勻化%倣真與實驗%激光退火
광학설계여제조%광속균화%방진여실험%격광퇴화
为了在激光退火工作面上获得高均匀度光斑,研究了双复眼透镜阵列光束匀化法中两透镜阵列间相对位置变化对匀化性能的影响.利用光线追迹方法,模拟了双复眼透镜阵列间6个自由度的相对位置误差与光束匀化效果的依赖关系,发现第二复眼透镜阵列的滚转角偏差是影响光束匀化质量的最敏感因素.为实现较好的匀化效果,需要对复眼透镜阵列位置进行精确控制.结果表明,使用专用镜架对透镜位置进行精确控制后,光束均匀度达到0.039.该系统成功应用于激光退火装置,实现了超浅结激光退火.
為瞭在激光退火工作麵上穫得高均勻度光斑,研究瞭雙複眼透鏡陣列光束勻化法中兩透鏡陣列間相對位置變化對勻化性能的影響.利用光線追跡方法,模擬瞭雙複眼透鏡陣列間6箇自由度的相對位置誤差與光束勻化效果的依賴關繫,髮現第二複眼透鏡陣列的滾轉角偏差是影響光束勻化質量的最敏感因素.為實現較好的勻化效果,需要對複眼透鏡陣列位置進行精確控製.結果錶明,使用專用鏡架對透鏡位置進行精確控製後,光束均勻度達到0.039.該繫統成功應用于激光退火裝置,實現瞭超淺結激光退火.
위료재격광퇴화공작면상획득고균균도광반,연구료쌍복안투경진렬광속균화법중량투경진렬간상대위치변화대균화성능적영향.이용광선추적방법,모의료쌍복안투경진렬간6개자유도적상대위치오차여광속균화효과적의뢰관계,발현제이복안투경진렬적곤전각편차시영향광속균화질량적최민감인소.위실현교호적균화효과,수요대복안투경진렬위치진행정학공제.결과표명,사용전용경가대투경위치진행정학공제후,광속균균도체도0.039.해계통성공응용우격광퇴화장치,실현료초천결격광퇴화.
