功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2013年
1期
32-35
,共4页
吴劲峰%何乃如%邱孟柯%吉利%李红轩%黄小鹏
吳勁峰%何迺如%邱孟柯%吉利%李紅軒%黃小鵬
오경봉%하내여%구맹가%길리%리홍헌%황소붕
磁控溅射%TiAlN薄膜%N2流量%微观结构%硬度
磁控濺射%TiAlN薄膜%N2流量%微觀結構%硬度
자공천사%TiAlN박막%N2류량%미관결구%경도
采用非平衡磁控溅射技术在AISI202不锈钢片和P(111)单晶硅基底上制备了TiAlN薄膜,并利用场发射扫描电镜(FESEM)、三维轮廓仪、X射线衍射仪(XRD)、X射线电子能谱仪(XPS)、纳米压痕仪对薄膜的结构和性能进行了考查.结果表明,随着N2流量的升高,TiAlN薄膜的沉积速率降低,Al/Ti比率先升高后迅速降低；薄膜主要由TiN立方晶构成,且随N2流量的升高晶粒尺寸减小,柱状晶结构变疏松.在氮气流量为20mL/min时,薄膜具有最高的硬度及结合力.
採用非平衡磁控濺射技術在AISI202不鏽鋼片和P(111)單晶硅基底上製備瞭TiAlN薄膜,併利用場髮射掃描電鏡(FESEM)、三維輪廓儀、X射線衍射儀(XRD)、X射線電子能譜儀(XPS)、納米壓痕儀對薄膜的結構和性能進行瞭攷查.結果錶明,隨著N2流量的升高,TiAlN薄膜的沉積速率降低,Al/Ti比率先升高後迅速降低；薄膜主要由TiN立方晶構成,且隨N2流量的升高晶粒呎吋減小,柱狀晶結構變疏鬆.在氮氣流量為20mL/min時,薄膜具有最高的硬度及結閤力.
채용비평형자공천사기술재AISI202불수강편화P(111)단정규기저상제비료TiAlN박막,병이용장발사소묘전경(FESEM)、삼유륜곽의、X사선연사의(XRD)、X사선전자능보의(XPS)、납미압흔의대박막적결구화성능진행료고사.결과표명,수착N2류량적승고,TiAlN박막적침적속솔강저,Al/Ti비솔선승고후신속강저；박막주요유TiN립방정구성,차수N2류량적승고정립척촌감소,주상정결구변소송.재담기류량위20mL/min시,박막구유최고적경도급결합력.
