传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2012年
12期
31-33,37
,共4页
曹河%董恩生%范作宪%庞宇
曹河%董恩生%範作憲%龐宇
조하%동은생%범작헌%방우
ANSYS%同面多电极%电容传感器%仿真研究
ANSYS%同麵多電極%電容傳感器%倣真研究
ANSYS%동면다전겁%전용전감기%방진연구
通过电磁场有限元分析软件ANSYS仿真同面双电极结构电容传感器在极板长、宽、间隙的不同组合下对电容变化率的影响,得出极板长、宽、间隙的最佳组合,构建了同面八电极电容传感器,分析比较在地屏蔽、极间屏蔽、外围屏蔽下传感器极板间电位分布和在不同屏蔽下传感器的灵敏度.仿真表明:增加屏蔽后不仅可以提高传感器的灵敏度,还可以获得比较均匀的敏感场.仿真研究结果为同面多电极电容传感器的结构设计提供了依据.
通過電磁場有限元分析軟件ANSYS倣真同麵雙電極結構電容傳感器在極闆長、寬、間隙的不同組閤下對電容變化率的影響,得齣極闆長、寬、間隙的最佳組閤,構建瞭同麵八電極電容傳感器,分析比較在地屏蔽、極間屏蔽、外圍屏蔽下傳感器極闆間電位分佈和在不同屏蔽下傳感器的靈敏度.倣真錶明:增加屏蔽後不僅可以提高傳感器的靈敏度,還可以穫得比較均勻的敏感場.倣真研究結果為同麵多電極電容傳感器的結構設計提供瞭依據.
통과전자장유한원분석연건ANSYS방진동면쌍전겁결구전용전감기재겁판장、관、간극적불동조합하대전용변화솔적영향,득출겁판장、관、간극적최가조합,구건료동면팔전겁전용전감기,분석비교재지병폐、겁간병폐、외위병폐하전감기겁판간전위분포화재불동병폐하전감기적령민도.방진표명:증가병폐후불부가이제고전감기적령민도,환가이획득비교균균적민감장.방진연구결과위동면다전겁전용전감기적결구설계제공료의거.
