机电信息
機電信息
궤전신식
MECHANICAL AND ELECTRICAL INFORMATION
2013年
3期
106-107
,共2页
静电结构耦合%ANSYS%MEMS
靜電結構耦閤%ANSYS%MEMS
정전결구우합%ANSYS%MEMS
介绍了利用ANSYS对受静电力之微小金属梁进行动态分析以了解其动态特性.金属梁所受到的变化静电力是由对分布于其下方的几个电极依次施加交流电压而感应产生的.对整个系统进行静电结构耦合分析,由分析结果可知金属梁变形的幅度和频率与交流电频率ω和施加交流电频率Ω有密切关系,具有一定的指导意义.
介紹瞭利用ANSYS對受靜電力之微小金屬樑進行動態分析以瞭解其動態特性.金屬樑所受到的變化靜電力是由對分佈于其下方的幾箇電極依次施加交流電壓而感應產生的.對整箇繫統進行靜電結構耦閤分析,由分析結果可知金屬樑變形的幅度和頻率與交流電頻率ω和施加交流電頻率Ω有密切關繫,具有一定的指導意義.
개소료이용ANSYS대수정전력지미소금속량진행동태분석이료해기동태특성.금속량소수도적변화정전력시유대분포우기하방적궤개전겁의차시가교류전압이감응산생적.대정개계통진행정전결구우합분석,유분석결과가지금속량변형적폭도화빈솔여교류전빈솔ω화시가교류전빈솔Ω유밀절관계,구유일정적지도의의.
