材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2013年
2期
31-34
,共4页
程芸%杨明红%代吉祥%杨志
程蕓%楊明紅%代吉祥%楊誌
정예%양명홍%대길상%양지
氮化硅薄膜%射频溅射%光学性能%FT-IR%EPMA
氮化硅薄膜%射頻濺射%光學性能%FT-IR%EPMA
담화규박막%사빈천사%광학성능%FT-IR%EPMA
采用射频磁控反应溅射法在不同工艺下制备微米级厚度的氮化硅薄膜,并利用椭圆偏振仪、分光光度计、X射线衍射仪、电子探针显微分析仪以及红外光谱仪对薄膜的光学性能、微观结构及化学成分进行了表征.测试结果表明,当N2和Ar的流量为1∶1时所制备样品为非晶态结构的高折射率富氮氮化硅薄膜；低温热处理对薄膜折射率有一定的改善作用；透过率随溅射气压的增加而升高、随功率的增大而降低；N-Si键的强度随溅射气压的升高而降低.
採用射頻磁控反應濺射法在不同工藝下製備微米級厚度的氮化硅薄膜,併利用橢圓偏振儀、分光光度計、X射線衍射儀、電子探針顯微分析儀以及紅外光譜儀對薄膜的光學性能、微觀結構及化學成分進行瞭錶徵.測試結果錶明,噹N2和Ar的流量為1∶1時所製備樣品為非晶態結構的高摺射率富氮氮化硅薄膜；低溫熱處理對薄膜摺射率有一定的改善作用；透過率隨濺射氣壓的增加而升高、隨功率的增大而降低；N-Si鍵的彊度隨濺射氣壓的升高而降低.
채용사빈자공반응천사법재불동공예하제비미미급후도적담화규박막,병이용타원편진의、분광광도계、X사선연사의、전자탐침현미분석의이급홍외광보의대박막적광학성능、미관결구급화학성분진행료표정.측시결과표명,당N2화Ar적류량위1∶1시소제비양품위비정태결구적고절사솔부담담화규박막；저온열처리대박막절사솔유일정적개선작용；투과솔수천사기압적증가이승고、수공솔적증대이강저；N-Si건적강도수천사기압적승고이강저.
