长春理工大学学报（自然科学版）
長春理工大學學報（自然科學版）
장춘리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHANGCHUN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2013年
5期
65-70
,共6页
蒋尹爽%宋正勋%董莉彤%余烨%王作斌%尹福昌
蔣尹爽%宋正勛%董莉彤%餘燁%王作斌%尹福昌
장윤상%송정훈%동리동%여엽%왕작빈%윤복창
激光干涉光刻%微纳结构%光电转换效率
激光榦涉光刻%微納結構%光電轉換效率
격광간섭광각%미납결구%광전전환효솔
laser interference photolithography%micro-nano structure%photoelectric conversion efficiency
利用激光干涉光刻技术制备大面积表面微结构的方法对探测器表面进行处理，实验与测试表明，此方法能够增加探测器对信号的吸收率及提高探测器的光电转换效率，达到提高探测器灵敏度的目的。
利用激光榦涉光刻技術製備大麵積錶麵微結構的方法對探測器錶麵進行處理，實驗與測試錶明，此方法能夠增加探測器對信號的吸收率及提高探測器的光電轉換效率，達到提高探測器靈敏度的目的。
이용격광간섭광각기술제비대면적표면미결구적방법대탐측기표면진행처리，실험여측시표명，차방법능구증가탐측기대신호적흡수솔급제고탐측기적광전전환효솔，체도제고탐측기령민도적목적。
The laser interference lithography technique was used to prepare large area surface microstructure to process the detector surface. The experiments and tests show that the method can increase the signal absorptivity of detector and improve the photoelectric conversion efficiency of detector,and then improve detector sensitivity.
