上海工程技术大学学报
上海工程技術大學學報
상해공정기술대학학보
JOURNAL OF SHANGHAI UNIVERSITY OF ENGINEERING SCIENCE
2013年
1期
87-90
,共4页
潘辰林%刁云华%温静%李忠文%林文松
潘辰林%刁雲華%溫靜%李忠文%林文鬆
반신림%조운화%온정%리충문%림문송
磁控溅射沉积%氮离子注入%摩擦因数
磁控濺射沉積%氮離子註入%摩抆因數
자공천사침적%담리자주입%마찰인수
利用磁控溅射方法在304不锈钢表面沉积厚约100 nm的钽膜,并对其进行氮等离子体基离子注入,注入能量为50 keV,用掠射X线衍射(GXRD)分析了改性层的组成相结构,选取φ6 mm的GCr15钢球作为对磨件,测试了处理后试样的磨损性能.研究结果表明:改性层含有钽的氮化物,注入剂量较低时,化合物为TaN0.1；随着注入剂量的增加,形成TaN.经过该处理后的304不锈钢磨损性能提高,磨损率降低幅度达到66.3％；摩擦因数有所降低,表面摩擦因数由未处理前的1.0～1.2下降至处理后的0.2～0.4.
利用磁控濺射方法在304不鏽鋼錶麵沉積厚約100 nm的鐽膜,併對其進行氮等離子體基離子註入,註入能量為50 keV,用掠射X線衍射(GXRD)分析瞭改性層的組成相結構,選取φ6 mm的GCr15鋼毬作為對磨件,測試瞭處理後試樣的磨損性能.研究結果錶明:改性層含有鐽的氮化物,註入劑量較低時,化閤物為TaN0.1；隨著註入劑量的增加,形成TaN.經過該處理後的304不鏽鋼磨損性能提高,磨損率降低幅度達到66.3％；摩抆因數有所降低,錶麵摩抆因數由未處理前的1.0～1.2下降至處理後的0.2～0.4.
이용자공천사방법재304불수강표면침적후약100 nm적단막,병대기진행담등리자체기리자주입,주입능량위50 keV,용략사X선연사(GXRD)분석료개성층적조성상결구,선취φ6 mm적GCr15강구작위대마건,측시료처리후시양적마손성능.연구결과표명:개성층함유단적담화물,주입제량교저시,화합물위TaN0.1；수착주입제량적증가,형성TaN.경과해처리후적304불수강마손성능제고,마손솔강저폭도체도66.3％；마찰인수유소강저,표면마찰인수유미처리전적1.0～1.2하강지처리후적0.2～0.4.
