CAJ | 학술논문

多晶硅反应从载体硅芯到硅棒的这一生产过程中由于温度和硅棒直径的变化，硅棒电阻率时刻在发生变化，使得还原电源变压器在转档过程中出现诸多问题，如变压器温度升高、转档电流波动、调功柜熔断器烧坏甚至无法顺利转档等，这些问题的出现严重影响了多晶硅还原反应的正常进行，导致硅棒生长异常、产量降低、物料利用率低等一系列问题。本文通过生产实际，通过工艺和设备的调整，来有效控制多晶硅还原炉电气转档。
다정규반응종재체규심도규봉적저일생산과정중유우온도화규봉직경적변화，규봉전조솔시각재발생변화，사득환원전원변압기재전당과정중출현제다문제，여변압기온도승고、전당전류파동、조공거용단기소배심지무법순리전당등，저사문제적출현엄중영향료다정규환원반응적정상진행，도치규봉생장이상、산량강저、물료이용솔저등일계렬문제。본문통과생산실제，통과공예화설비적조정，래유효공제다정규환원로전기전당。