山东科学
山東科學
산동과학
SHANDONG SCIENCE
2012年
3期
58-61,79
,共5页
任现坤%马玉英%张黎明%刘鹏%姜言森%徐振华%贾河顺%程亮%张春艳
任現坤%馬玉英%張黎明%劉鵬%薑言森%徐振華%賈河順%程亮%張春豔
임현곤%마옥영%장려명%류붕%강언삼%서진화%가하순%정량%장춘염
折射率%致密性%转化效率%氮化硅%等离子增强型化学气相沉积(PECVD)
摺射率%緻密性%轉化效率%氮化硅%等離子增彊型化學氣相沉積(PECVD)
절사솔%치밀성%전화효솔%담화규%등리자증강형화학기상침적(PECVD)
refractive index densification conversion efficiency Silicon nitride PECVD
折射率是反映薄膜成分以及致密性的重要指标，是检验薄膜制备质量的重要参数，其变化直接影响太阳能电池的转化效率。本文研究了不同射频功率、腔体压强、衬底温度以及硅烷和氨气配比等沉积条件对在太阳能电池上沉积的氮化硅薄膜折射率的影响，分析了氮化硅薄膜折射率随各沉积条件变化的原因。
摺射率是反映薄膜成分以及緻密性的重要指標，是檢驗薄膜製備質量的重要參數，其變化直接影響太暘能電池的轉化效率。本文研究瞭不同射頻功率、腔體壓彊、襯底溫度以及硅烷和氨氣配比等沉積條件對在太暘能電池上沉積的氮化硅薄膜摺射率的影響，分析瞭氮化硅薄膜摺射率隨各沉積條件變化的原因。
절사솔시반영박막성분이급치밀성적중요지표，시검험박막제비질량적중요삼수，기변화직접영향태양능전지적전화효솔。본문연구료불동사빈공솔、강체압강、츤저온도이급규완화안기배비등침적조건대재태양능전지상침적적담화규박막절사솔적영향，분석료담화규박막절사솔수각침적조건변화적원인。
Refraction index is an important parameter reflecting film composition and density. It also reflects preparation quality of thin film, which directly affects the transformation efficiency of a solar cell. This paper investigated the impact of radio frequency power, chamber pressure, substrate temperature and the ratio of saline and ammonia on the refraction index of silicon nitride thin film deposited on a c-Si solar cell. We analyze the reason that refractive index of azotized silicon thin film changes with different deposition conditions.
