CAJ | 학술논문

为了提高多晶硅片的转换效率，提高多晶硅片少子寿命是一个重要的方法和途径，然而在生产过程中影响多晶硅片少子寿命的因素有很多，主要有杂质含量，硅片厚度及晶粒尺寸均匀性等。通过对分凝原理的研究，利用微波光电导测试原理对多晶硅锭少子寿命的分布做了分析，并对硅片厚度及晶粒尺寸进行研究，经过研究发现，多晶硅片少子寿命主要受原料金属杂质含量的大小，硅片厚度及晶粒尺寸均匀性等因素的影响。
위료제고다정규편적전환효솔，제고다정규편소자수명시일개중요적방법화도경，연이재생산과정중영향다정규편소자수명적인소유흔다，주요유잡질함량，규편후도급정립척촌균균성등。통과대분응원리적연구，이용미파광전도측시원리대다정규정소자수명적분포주료분석，병대규편후도급정립척촌진행연구，경과연구발현，다정규편소자수명주요수원료금속잡질함량적대소，규편후도급정립척촌균균성등인소적영향。