木材加工机械
木材加工機械
목재가공궤계
WOOD PROCESSING MACHINERY
2012年
4期
19-21,39
,共4页
精密测量%光栅尺%微动平台%反馈控制%设计
精密測量%光柵呎%微動平檯%反饋控製%設計
정밀측량%광책척%미동평태%반궤공제%설계
精密测量技术是精密工程领域的一项重要研究内容.本文利用微动平台,二次开发控制软件,进行精密控制.为了克服回程误差,选择精度更高的光栅尺进行测量,整个测量系统组成伺服反馈系统,测量软件上进行闭环,一键设定到位,精度能达到0.2μm,适合于各种单自由度或多自由度小载荷精密移动领域.
精密測量技術是精密工程領域的一項重要研究內容.本文利用微動平檯,二次開髮控製軟件,進行精密控製.為瞭剋服迴程誤差,選擇精度更高的光柵呎進行測量,整箇測量繫統組成伺服反饋繫統,測量軟件上進行閉環,一鍵設定到位,精度能達到0.2μm,適閤于各種單自由度或多自由度小載荷精密移動領域.
정밀측량기술시정밀공정영역적일항중요연구내용.본문이용미동평태,이차개발공제연건,진행정밀공제.위료극복회정오차,선택정도경고적광책척진행측량,정개측량계통조성사복반궤계통,측량연건상진행폐배,일건설정도위,정도능체도0.2μm,괄합우각충단자유도혹다자유도소재하정밀이동영역.