人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2012年
6期
1587-1594
,共8页
黄国强%潘金花%毛俊楠%王红星%范江洋
黃國彊%潘金花%毛俊楠%王紅星%範江洋
황국강%반금화%모준남%왕홍성%범강양
硅烷%化学气相沉积%多晶硅%数值模拟
硅烷%化學氣相沉積%多晶硅%數值模擬
규완%화학기상침적%다정규%수치모의
本文建立了硅烷和氢气体系中气体动量、热量和质量同时传递,并且耦合硅烷热分解反应的多晶硅气相沉积模型,选择适宜的物理模型和边界条件通过流体力学软件Fluent 6.3.26进行数值模拟.之后模拟了进气组成、反应温度、反应压力及进口速度等因素对沉积特性的影响,得到结论:当进气组成、反应温度和反应压力增大时,硅的沉积速率增大、单位能耗降低；当进气速度增大时,硅的沉积速率和单位能耗均呈增大趋势；在进口区域硅沉积速率随着硅棒延伸增大,在离进口较远的区域,硅沉积速率随着硅棒延伸而减小.
本文建立瞭硅烷和氫氣體繫中氣體動量、熱量和質量同時傳遞,併且耦閤硅烷熱分解反應的多晶硅氣相沉積模型,選擇適宜的物理模型和邊界條件通過流體力學軟件Fluent 6.3.26進行數值模擬.之後模擬瞭進氣組成、反應溫度、反應壓力及進口速度等因素對沉積特性的影響,得到結論:噹進氣組成、反應溫度和反應壓力增大時,硅的沉積速率增大、單位能耗降低；噹進氣速度增大時,硅的沉積速率和單位能耗均呈增大趨勢；在進口區域硅沉積速率隨著硅棒延伸增大,在離進口較遠的區域,硅沉積速率隨著硅棒延伸而減小.
본문건립료규완화경기체계중기체동량、열량화질량동시전체,병차우합규완열분해반응적다정규기상침적모형,선택괄의적물리모형화변계조건통과류체역학연건Fluent 6.3.26진행수치모의.지후모의료진기조성、반응온도、반응압력급진구속도등인소대침적특성적영향,득도결론:당진기조성、반응온도화반응압력증대시,규적침적속솔증대、단위능모강저；당진기속도증대시,규적침적속솔화단위능모균정증대추세；재진구구역규침적속솔수착규봉연신증대,재리진구교원적구역,규침적속솔수착규봉연신이감소.
