人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2012年
6期
1561-1565
,共5页
马继奎%赵庆勋%彭增伟%陈明敬%史金超%刘保亭
馬繼奎%趙慶勛%彭增偉%陳明敬%史金超%劉保亭
마계규%조경훈%팽증위%진명경%사금초%류보정
BiFeO3%磁控溅射%铁电性%外延生长
BiFeO3%磁控濺射%鐵電性%外延生長
BiFeO3%자공천사%철전성%외연생장
采用磁控溅射的方法在SrRuO3/SrTiO3 (001)衬底上外延生长BiFeO3薄膜,研究以不同金属或氧化物做顶电极时的铁电、铁磁性质和漏电流及其导电机制.X射线衍射图谱和(φ)扫描图结果显示BiFeO3薄膜沿c轴外延生长,以Pt、Al做顶电极的薄膜剩余极化强度2Pr为68μC/cm2,生长Pt/SRO、FePt顶电极的薄膜剩余极化强度较小,2Pr为44μC/cm2,矫顽场2Ec约为370±20 kV/cm.薄膜的漏电流密度较小而且趋于饱和,在U=12 V时最大为1.94×10-3 A/cm2,体传导普尔弗兰克导电为BiFeO3薄膜主要的导电机制.BFO薄膜展现出弱磁性,饱和磁化强度为9.3 emu/cm3,矫顽场为338 Oe.
採用磁控濺射的方法在SrRuO3/SrTiO3 (001)襯底上外延生長BiFeO3薄膜,研究以不同金屬或氧化物做頂電極時的鐵電、鐵磁性質和漏電流及其導電機製.X射線衍射圖譜和(φ)掃描圖結果顯示BiFeO3薄膜沿c軸外延生長,以Pt、Al做頂電極的薄膜剩餘極化彊度2Pr為68μC/cm2,生長Pt/SRO、FePt頂電極的薄膜剩餘極化彊度較小,2Pr為44μC/cm2,矯頑場2Ec約為370±20 kV/cm.薄膜的漏電流密度較小而且趨于飽和,在U=12 V時最大為1.94×10-3 A/cm2,體傳導普爾弗蘭剋導電為BiFeO3薄膜主要的導電機製.BFO薄膜展現齣弱磁性,飽和磁化彊度為9.3 emu/cm3,矯頑場為338 Oe.
채용자공천사적방법재SrRuO3/SrTiO3 (001)츤저상외연생장BiFeO3박막,연구이불동금속혹양화물주정전겁시적철전、철자성질화루전류급기도전궤제.X사선연사도보화(φ)소묘도결과현시BiFeO3박막연c축외연생장,이Pt、Al주정전겁적박막잉여겁화강도2Pr위68μC/cm2,생장Pt/SRO、FePt정전겁적박막잉여겁화강도교소,2Pr위44μC/cm2,교완장2Ec약위370±20 kV/cm.박막적루전류밀도교소이차추우포화,재U=12 V시최대위1.94×10-3 A/cm2,체전도보이불란극도전위BiFeO3박막주요적도전궤제.BFO박막전현출약자성,포화자화강도위9.3 emu/cm3,교완장위338 Oe.
