人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2012年
6期
1534-1537
,共4页
武红磊%郑瑞生%李萌萌%闫征
武紅磊%鄭瑞生%李萌萌%閆徵
무홍뢰%정서생%리맹맹%염정
升华%非极化%AlN晶体%m面
升華%非極化%AlN晶體%m麵
승화%비겁화%AlN정체%m면
AlN晶体在c轴方向具有很强的自发和压电极化效应,影响了其器件的性能.生长高质量的非极性面AlN晶体材料是解决该问题的有效途径.本研究结合AlN晶体沿c轴择优生长的特点,使用自行设计的双区电阻加热生长装置,升华制备出尺寸为厘米级m面非极性AlN单晶体,并利用X射线衍射和能谱对样品进行测试分析.实验结果表明AlN单晶体的方向为(100),铝和氮原子比例为50.3％和49.7％,接近理想比例1∶1.最后,对m面非极性AlN单晶体的形成机理进行探讨.
AlN晶體在c軸方嚮具有很彊的自髮和壓電極化效應,影響瞭其器件的性能.生長高質量的非極性麵AlN晶體材料是解決該問題的有效途徑.本研究結閤AlN晶體沿c軸擇優生長的特點,使用自行設計的雙區電阻加熱生長裝置,升華製備齣呎吋為釐米級m麵非極性AlN單晶體,併利用X射線衍射和能譜對樣品進行測試分析.實驗結果錶明AlN單晶體的方嚮為(100),鋁和氮原子比例為50.3％和49.7％,接近理想比例1∶1.最後,對m麵非極性AlN單晶體的形成機理進行探討.
AlN정체재c축방향구유흔강적자발화압전겁화효응,영향료기기건적성능.생장고질량적비겁성면AlN정체재료시해결해문제적유효도경.본연구결합AlN정체연c축택우생장적특점,사용자행설계적쌍구전조가열생장장치,승화제비출척촌위전미급m면비겁성AlN단정체,병이용X사선연사화능보대양품진행측시분석.실험결과표명AlN단정체적방향위(100),려화담원자비례위50.3％화49.7％,접근이상비례1∶1.최후,대m면비겁성AlN단정체적형성궤리진행탐토.
