粉末冶金技术
粉末冶金技術
분말야금기술
POWDER METALLURGY TECHNOLOGY
2012年
6期
420-427,439
,共9页
白雪%王星明%储茂友%张碧田%段华英%石志霞%孙静%韩沧
白雪%王星明%儲茂友%張碧田%段華英%石誌霞%孫靜%韓滄
백설%왕성명%저무우%장벽전%단화영%석지하%손정%한창
AZO靶材%热压%密度%ZnAl2O4
AZO靶材%熱壓%密度%ZnAl2O4
AZO파재%열압%밀도%ZnAl2O4
以98∶2(质量比)的ZnO-Al2O3混合粉体为原料热压制备AZO靶材.通过阿基米德排水法测定试样密度,XRD分析物相组成,TEM观察靶材的微观结构,研究靶材热压致密化和Al元素扩散的规律.结果表明:Al元素在未经煅烧的原料粉中以Al2O3的形式存在；而在煅烧处理后的粉末中,Al元素部分扩散进入了ZnO的晶格中,导致其层状属性c/a值的减小,另一部分Al元素由于固溶度的限制形成ZnAl2O4尖晶石.在热压温度为1 000℃时,未经煅烧的原料粉中Al2O3与ZnO发生反应生成ZnAl2O4；而煅烧处理后的粉末在1 000℃热压时,尖晶石含量最高为3.41％(质量分数,下同),温度升至1 150℃,ZnAl2O4的含量下降至2.64％,延长保温时间,ZnAl2O4含量逐渐减少.由此说明,热压温度为1 000℃时,易于形成ZnAl2O4相,在升温过程中,ZnAl2O4与ZnO中的Al元素存在互扩散.通过靶材的微观结构分析发现,ZnO晶粒中夹杂着ZnAl2O4,Al元素含量在ZnO晶粒中呈梯度分布.在热压过程中插入合适的保温保压点能改进热压工艺,有效提高靶材的致密度.
以98∶2(質量比)的ZnO-Al2O3混閤粉體為原料熱壓製備AZO靶材.通過阿基米德排水法測定試樣密度,XRD分析物相組成,TEM觀察靶材的微觀結構,研究靶材熱壓緻密化和Al元素擴散的規律.結果錶明:Al元素在未經煅燒的原料粉中以Al2O3的形式存在；而在煅燒處理後的粉末中,Al元素部分擴散進入瞭ZnO的晶格中,導緻其層狀屬性c/a值的減小,另一部分Al元素由于固溶度的限製形成ZnAl2O4尖晶石.在熱壓溫度為1 000℃時,未經煅燒的原料粉中Al2O3與ZnO髮生反應生成ZnAl2O4；而煅燒處理後的粉末在1 000℃熱壓時,尖晶石含量最高為3.41％(質量分數,下同),溫度升至1 150℃,ZnAl2O4的含量下降至2.64％,延長保溫時間,ZnAl2O4含量逐漸減少.由此說明,熱壓溫度為1 000℃時,易于形成ZnAl2O4相,在升溫過程中,ZnAl2O4與ZnO中的Al元素存在互擴散.通過靶材的微觀結構分析髮現,ZnO晶粒中夾雜著ZnAl2O4,Al元素含量在ZnO晶粒中呈梯度分佈.在熱壓過程中插入閤適的保溫保壓點能改進熱壓工藝,有效提高靶材的緻密度.
이98∶2(질량비)적ZnO-Al2O3혼합분체위원료열압제비AZO파재.통과아기미덕배수법측정시양밀도,XRD분석물상조성,TEM관찰파재적미관결구,연구파재열압치밀화화Al원소확산적규률.결과표명:Al원소재미경단소적원료분중이Al2O3적형식존재；이재단소처리후적분말중,Al원소부분확산진입료ZnO적정격중,도치기층상속성c/a치적감소,령일부분Al원소유우고용도적한제형성ZnAl2O4첨정석.재열압온도위1 000℃시,미경단소적원료분중Al2O3여ZnO발생반응생성ZnAl2O4；이단소처리후적분말재1 000℃열압시,첨정석함량최고위3.41％(질량분수,하동),온도승지1 150℃,ZnAl2O4적함량하강지2.64％,연장보온시간,ZnAl2O4함량축점감소.유차설명,열압온도위1 000℃시,역우형성ZnAl2O4상,재승온과정중,ZnAl2O4여ZnO중적Al원소존재호확산.통과파재적미관결구분석발현,ZnO정립중협잡착ZnAl2O4,Al원소함량재ZnO정립중정제도분포.재열압과정중삽입합괄적보온보압점능개진열압공예,유효제고파재적치밀도.
