发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2012年
10期
1055-1059
,共5页
田苗苗%李春杰%贺小光%郭峰%范翊%王宁
田苗苗%李春傑%賀小光%郭峰%範翊%王寧
전묘묘%리춘걸%하소광%곽봉%범익%왕저
功函数%掺杂%透明导电薄膜%光致发光
功函數%摻雜%透明導電薄膜%光緻髮光
공함수%참잡%투명도전박막%광치발광
制备了一种新型的具有高功函数的掺钛酸镧(LaTiO3)的氧化铟(ILTO)三元透明导电氧化物薄膜,并研究了其光电特性.EDX能谱测试结果证实了样品中In、La及Ti的存在,薄膜的掺杂具有良好的均匀性及一致性.由原子力显微镜测试可知,在一个5 μm×5μm的扫描区域内,样品的表面粗糙度(RMS)较小,为1 nm量级.ILTO薄膜在可见光区域的平均透过率超过了85％,其功函数接近于金的功函数(5.2 eV左右),远高于目前商业化的ITO的功函数(4.5 ～4.7 eV).由于导电薄膜的功函数在光电器件中对异质结界面的势垒高度有着直接影响,较高的功函数可以提高载流子的注入及抽取能力,因此采用ILTO作为光电器件的阳极将有望改善器件的性能.
製備瞭一種新型的具有高功函數的摻鈦痠鑭(LaTiO3)的氧化銦(ILTO)三元透明導電氧化物薄膜,併研究瞭其光電特性.EDX能譜測試結果證實瞭樣品中In、La及Ti的存在,薄膜的摻雜具有良好的均勻性及一緻性.由原子力顯微鏡測試可知,在一箇5 μm×5μm的掃描區域內,樣品的錶麵粗糙度(RMS)較小,為1 nm量級.ILTO薄膜在可見光區域的平均透過率超過瞭85％,其功函數接近于金的功函數(5.2 eV左右),遠高于目前商業化的ITO的功函數(4.5 ～4.7 eV).由于導電薄膜的功函數在光電器件中對異質結界麵的勢壘高度有著直接影響,較高的功函數可以提高載流子的註入及抽取能力,因此採用ILTO作為光電器件的暘極將有望改善器件的性能.
제비료일충신형적구유고공함수적참태산란(LaTiO3)적양화인(ILTO)삼원투명도전양화물박막,병연구료기광전특성.EDX능보측시결과증실료양품중In、La급Ti적존재,박막적참잡구유량호적균균성급일치성.유원자력현미경측시가지,재일개5 μm×5μm적소묘구역내,양품적표면조조도(RMS)교소,위1 nm량급.ILTO박막재가견광구역적평균투과솔초과료85％,기공함수접근우금적공함수(5.2 eV좌우),원고우목전상업화적ITO적공함수(4.5 ～4.7 eV).유우도전박막적공함수재광전기건중대이질결계면적세루고도유착직접영향,교고적공함수가이제고재류자적주입급추취능력,인차채용ILTO작위광전기건적양겁장유망개선기건적성능.
