计量与测试技术
計量與測試技術
계량여측시기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNIQUE
2012年
12期
37,40
,共2页
姜国雁%杨玉洁%刘涛%胡荣辉
薑國雁%楊玉潔%劉濤%鬍榮輝
강국안%양옥길%류도%호영휘
高准确度%柔性定位%传感器
高準確度%柔性定位%傳感器
고준학도%유성정위%전감기
本文所述的高准确度柔性定位传感器是由微型光电开关、高稳定触发器、高稳定测量力的簧片组成,其定位重复性小于0.01μm,叙述了柔性定位传感器的技术方案设计、工作原理、试验方法及应用,该传感器适用于高准确度位移测量设计中选用,可应用在航空、航天、民用等科技研究院、所或企业.
本文所述的高準確度柔性定位傳感器是由微型光電開關、高穩定觸髮器、高穩定測量力的簧片組成,其定位重複性小于0.01μm,敘述瞭柔性定位傳感器的技術方案設計、工作原理、試驗方法及應用,該傳感器適用于高準確度位移測量設計中選用,可應用在航空、航天、民用等科技研究院、所或企業.
본문소술적고준학도유성정위전감기시유미형광전개관、고은정촉발기、고은정측량력적황편조성,기정위중복성소우0.01μm,서술료유성정위전감기적기술방안설계、공작원리、시험방법급응용,해전감기괄용우고준학도위이측량설계중선용,가응용재항공、항천、민용등과기연구원、소혹기업.
