CAJ | 학술논문

中大口径非球面光学元件的铣磨-精密磨削-快速抛光-超精密抛光的高精度、高效加工工艺技术是目前国内外学者研究的重点,精密磨削加工中的光学元件磨削面形在位检测技术是保证加工-检测-补偿、再加工-再检测-再补偿的关健技术.本文通过分析精密磨削的在位检测原理、方案、检测路径规划,提出了一种适合轴对称非球面精密磨削的电感式在位接触检测装置和自适应卡尔曼滤波数据处理方法,可有效剔除奇异项,给出数据预平滑处理的路径,通过Gauss-Newton非线性最小二乘法和NUEBS曲线法进行曲线拟合试验,给出了更利于补偿加工的曲线拟合方法,取得数控补偿合理参数,实现加工快速收敛,最大限度逼近实际加工面形.实验结果表明基于在位检测的随机误差标准差,经滤波后减少了1/3,验证了其在位检测技术结果的可行性,提高了磨削加工中的测量效率与测量精度.
중대구경비구면광학원건적선마-정밀마삭-쾌속포광-초정밀포광적고정도、고효가공공예기술시목전국내외학자연구적중점,정밀마삭가공중적광학원건마삭면형재위검측기술시보증가공-검측-보상、재가공-재검측-재보상적관건기술.본문통과분석정밀마삭적재위검측원리、방안、검측로경규화,제출료일충괄합축대칭비구면정밀마삭적전감식재위접촉검측장치화자괄응잡이만려파수거처리방법,가유효척제기이항,급출수거예평활처리적로경,통과Gauss-Newton비선성최소이승법화NUEBS곡선법진행곡선의합시험,급출료경리우보상가공적곡선의합방법,취득수공보상합리삼수,실현가공쾌속수렴,최대한도핍근실제가공면형.실험결과표명기우재위검측적수궤오차표준차,경려파후감소료1/3,험증료기재위검측기술결과적가행성,제고료마삭가공중적측량효솔여측량정도.