传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
1期
128-130
,共3页
张晓波%陕皓%刘丽%王连元%李守春%王国光
張曉波%陝皓%劉麗%王連元%李守春%王國光
장효파%협호%류려%왕련원%리수춘%왕국광
气体传感器%微热板%温度分布%ANSYS
氣體傳感器%微熱闆%溫度分佈%ANSYS
기체전감기%미열판%온도분포%ANSYS
设计了一种新型微气体传感器的电极结构,这种共平面型电极结构消除了加热器产生的磁场对测量信号的干扰.利用铂作为电极材料,SiO2作为隔热层,利用有限元软件分析优化,当SiO2,Si的厚度分别为50,250 μm,加热电极的宽度、信号电极的宽度和间距分别为150,15,60μm时,传感器获得的中心温度较高且比较均匀的中心温度分布,有利于传感器整体性能的提高.
設計瞭一種新型微氣體傳感器的電極結構,這種共平麵型電極結構消除瞭加熱器產生的磁場對測量信號的榦擾.利用鉑作為電極材料,SiO2作為隔熱層,利用有限元軟件分析優化,噹SiO2,Si的厚度分彆為50,250 μm,加熱電極的寬度、信號電極的寬度和間距分彆為150,15,60μm時,傳感器穫得的中心溫度較高且比較均勻的中心溫度分佈,有利于傳感器整體性能的提高.
설계료일충신형미기체전감기적전겁결구,저충공평면형전겁결구소제료가열기산생적자장대측량신호적간우.이용박작위전겁재료,SiO2작위격열층,이용유한원연건분석우화,당SiO2,Si적후도분별위50,250 μm,가열전겁적관도、신호전겁적관도화간거분별위150,15,60μm시,전감기획득적중심온도교고차비교균균적중심온도분포,유리우전감기정체성능적제고.
