传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
1期
115-117
,共3页
韦宣%乐静%申阿维%邵伟
韋宣%樂靜%申阿維%邵偉
위선%악정%신아유%소위
光纤位移传感器%亚微米%微动工作台
光纖位移傳感器%亞微米%微動工作檯
광섬위이전감기%아미미%미동공작태
针对微动工作台定位中遇到的位移检测问题,探讨了一种反射式光纤位移传感器.通过分析光纤耦合原理设计了发射接收光纤探头的结构；选择高亮度LED和高灵敏度硅光电池,提高了传感器的抗干扰能力和增强了信号强度；检测电路实现了对信号的去零、放大,从而提高分辨率,解决了这类传感器的线性范围小所引起的不足.实验结果表明:在0200μm的量程内分辨率能达到亚微米级.
針對微動工作檯定位中遇到的位移檢測問題,探討瞭一種反射式光纖位移傳感器.通過分析光纖耦閤原理設計瞭髮射接收光纖探頭的結構；選擇高亮度LED和高靈敏度硅光電池,提高瞭傳感器的抗榦擾能力和增彊瞭信號彊度；檢測電路實現瞭對信號的去零、放大,從而提高分辨率,解決瞭這類傳感器的線性範圍小所引起的不足.實驗結果錶明:在0200μm的量程內分辨率能達到亞微米級.
침대미동공작태정위중우도적위이검측문제,탐토료일충반사식광섬위이전감기.통과분석광섬우합원리설계료발사접수광섬탐두적결구；선택고량도LED화고령민도규광전지,제고료전감기적항간우능력화증강료신호강도；검측전로실현료대신호적거령、방대,종이제고분변솔,해결료저류전감기적선성범위소소인기적불족.실험결과표명:재0200μm적량정내분변솔능체도아미미급.
