传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
1期
95-98,101
,共5页
李其昌%王广龙%高凤岐%卢江雷%张姗姗%王磊
李其昌%王廣龍%高鳳岐%盧江雷%張姍姍%王磊
리기창%왕엄룡%고봉기%로강뢰%장산산%왕뢰
微悬臂梁%高灵敏度%应力集中区域%有限元仿真
微懸臂樑%高靈敏度%應力集中區域%有限元倣真
미현비량%고령민도%응력집중구역%유한원방진
利用有限元仿真分析方法,模拟不同特征应力集中区域(SCR)对微悬臂梁测量性能的影响,得出微悬臂梁结构引入不同形式特征SCR后所产生的测量性能的变化规律,分析灵敏度与测量带宽及测量范围的取舍原则.对基于微悬臂梁的高灵敏度微传感器、制动器的设计与优化具有一定指导意义.
利用有限元倣真分析方法,模擬不同特徵應力集中區域(SCR)對微懸臂樑測量性能的影響,得齣微懸臂樑結構引入不同形式特徵SCR後所產生的測量性能的變化規律,分析靈敏度與測量帶寬及測量範圍的取捨原則.對基于微懸臂樑的高靈敏度微傳感器、製動器的設計與優化具有一定指導意義.
이용유한원방진분석방법,모의불동특정응력집중구역(SCR)대미현비량측량성능적영향,득출미현비량결구인입불동형식특정SCR후소산생적측량성능적변화규률,분석령민도여측량대관급측량범위적취사원칙.대기우미현비량적고령민도미전감기、제동기적설계여우화구유일정지도의의.
