传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
1期
87-90
,共4页
陈慧云%程佳%黄震威%李东升%徐志鹏
陳慧雲%程佳%黃震威%李東升%徐誌鵬
진혜운%정가%황진위%리동승%서지붕
气体流量标准装置%双活塞%临界流流量计
氣體流量標準裝置%雙活塞%臨界流流量計
기체류량표준장치%쌍활새%림계류류량계
为了解决活塞式气体流量标准装置的最大检定流量受活塞缸容积限制的问题,开发了一种双活塞式气体流量标准装置.该装置利用2个活塞交替运行连续产生标准流量.简述了该双活塞式气体流量标准装置的检定原理,根据临界流流量计的检定规程和流量特性研究了装置的检定模型,介绍了装置软硬件设计,对装置进行重复性实验,结果表明:重复性优于0.05％,可以用于临界流流量计的检定.
為瞭解決活塞式氣體流量標準裝置的最大檢定流量受活塞缸容積限製的問題,開髮瞭一種雙活塞式氣體流量標準裝置.該裝置利用2箇活塞交替運行連續產生標準流量.簡述瞭該雙活塞式氣體流量標準裝置的檢定原理,根據臨界流流量計的檢定規程和流量特性研究瞭裝置的檢定模型,介紹瞭裝置軟硬件設計,對裝置進行重複性實驗,結果錶明:重複性優于0.05％,可以用于臨界流流量計的檢定.
위료해결활새식기체류량표준장치적최대검정류량수활새항용적한제적문제,개발료일충쌍활새식기체류량표준장치.해장치이용2개활새교체운행련속산생표준류량.간술료해쌍활새식기체류량표준장치적검정원리,근거림계류류량계적검정규정화류량특성연구료장치적검정모형,개소료장치연경건설계,대장치진행중복성실험,결과표명:중복성우우0.05％,가이용우림계류류량계적검정.
