传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
1期
25-28,32
,共5页
张彧%王文%赵小林%丁桂甫
張彧%王文%趙小林%丁桂甫
장욱%왕문%조소림%정계보
静电驱动%柔性振膜%微泵%圆薄膜大变形
靜電驅動%柔性振膜%微泵%圓薄膜大變形
정전구동%유성진막%미빙%원박막대변형
利用最小能量法和均匀压力载荷下的圆薄膜大变形半解析解相结合的方法,改进了静电驱动柔性振膜微泵的理论分析模型.计算结果表明:考虑圆薄膜的周向应变,利用均匀压力载荷下的圆薄膜大变形半解析解来预测振膜的形状,对微泵的性能有显著的影响,证明了圆薄膜大变形时的周向应变是不可忽略的.同时讨论了介电层厚度、腔体形状和双腔结构对微泵压缩性能的影响.结果表明:采用双腔结构,减小介电层厚度、减小腔体深度、缩小腔体半径,对静电驱动柔性振膜型微泵性能的提高具有积极意义.
利用最小能量法和均勻壓力載荷下的圓薄膜大變形半解析解相結閤的方法,改進瞭靜電驅動柔性振膜微泵的理論分析模型.計算結果錶明:攷慮圓薄膜的週嚮應變,利用均勻壓力載荷下的圓薄膜大變形半解析解來預測振膜的形狀,對微泵的性能有顯著的影響,證明瞭圓薄膜大變形時的週嚮應變是不可忽略的.同時討論瞭介電層厚度、腔體形狀和雙腔結構對微泵壓縮性能的影響.結果錶明:採用雙腔結構,減小介電層厚度、減小腔體深度、縮小腔體半徑,對靜電驅動柔性振膜型微泵性能的提高具有積極意義.
이용최소능량법화균균압력재하하적원박막대변형반해석해상결합적방법,개진료정전구동유성진막미빙적이론분석모형.계산결과표명:고필원박막적주향응변,이용균균압력재하하적원박막대변형반해석해래예측진막적형상,대미빙적성능유현저적영향,증명료원박막대변형시적주향응변시불가홀략적.동시토론료개전층후도、강체형상화쌍강결구대미빙압축성능적영향.결과표명:채용쌍강결구,감소개전층후도、감소강체심도、축소강체반경,대정전구동유성진막형미빙성능적제고구유적겁의의.