光电子技术
光電子技術
광전자기술
OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2013年
4期
274-278
,共5页
周平华%徐飞%杜汇伟%杨洁%石建伟%马忠权
週平華%徐飛%杜彙偉%楊潔%石建偉%馬忠權
주평화%서비%두회위%양길%석건위%마충권
超声修饰%金属催化法%硅纳米墙%欧姆接触
超聲脩飾%金屬催化法%硅納米牆%歐姆接觸
초성수식%금속최화법%규납미장%구모접촉
ultrasonic modify%metal assisted etching%silicon nano-wall%ohmic contact
提供了一种硅纳米墙结构器件的背面电极接触改善方法.通过利用超声的方法修饰金属催化法制备的硅纳米墙结构,并制备了AZO/硅纳米墙异质结光电器件.研究发现超声波可以对金属催化法制备的纳米硅墙进行单面修饰,与未经超声修饰的样品制备的器件相比,超声修饰能够改善硅纳米墙器件的背面电极欧姆接触,2 min的超声修饰可以将器件的串联电阻从5.87 Ω下降到0.82 Ω,填充因子提高86％,光电转换效率提高76.2％,提高了光电器件的载流子收集效率.
提供瞭一種硅納米牆結構器件的揹麵電極接觸改善方法.通過利用超聲的方法脩飾金屬催化法製備的硅納米牆結構,併製備瞭AZO/硅納米牆異質結光電器件.研究髮現超聲波可以對金屬催化法製備的納米硅牆進行單麵脩飾,與未經超聲脩飾的樣品製備的器件相比,超聲脩飾能夠改善硅納米牆器件的揹麵電極歐姆接觸,2 min的超聲脩飾可以將器件的串聯電阻從5.87 Ω下降到0.82 Ω,填充因子提高86％,光電轉換效率提高76.2％,提高瞭光電器件的載流子收集效率.
제공료일충규납미장결구기건적배면전겁접촉개선방법.통과이용초성적방법수식금속최화법제비적규납미장결구,병제비료AZO/규납미장이질결광전기건.연구발현초성파가이대금속최화법제비적납미규장진행단면수식,여미경초성수식적양품제비적기건상비,초성수식능구개선규납미장기건적배면전겁구모접촉,2 min적초성수식가이장기건적천련전조종5.87 Ω하강도0.82 Ω,전충인자제고86％,광전전환효솔제고76.2％,제고료광전기건적재류자수집효솔.
