有色冶金节能
有色冶金節能
유색야금절능
ENERGY SAVING OF NON-FERROUS METALLURGY
2013年
6期
53-56,44
,共5页
杨永亮%姜利霞%严大洲%肖荣晖
楊永亮%薑利霞%嚴大洲%肖榮暉
양영량%강리하%엄대주%초영휘
多晶硅%还原副产物%二氯二氢硅%三氯氢硅
多晶硅%還原副產物%二氯二氫硅%三氯氫硅
다정규%환원부산물%이록이경규%삼록경규
针对二氯二氢硅对多晶硅生长过程中的促进作用,介绍了一种从还原副产物中提纯二氯二氢硅和三氯氢硅混合物的新工艺.对比了新工艺和常规工艺的技术指标,通过生产试验和分析,验证了新工艺具有简化工艺、降低投资和节能降耗的先进性.
針對二氯二氫硅對多晶硅生長過程中的促進作用,介紹瞭一種從還原副產物中提純二氯二氫硅和三氯氫硅混閤物的新工藝.對比瞭新工藝和常規工藝的技術指標,通過生產試驗和分析,驗證瞭新工藝具有簡化工藝、降低投資和節能降耗的先進性.
침대이록이경규대다정규생장과정중적촉진작용,개소료일충종환원부산물중제순이록이경규화삼록경규혼합물적신공예.대비료신공예화상규공예적기술지표,통과생산시험화분석,험증료신공예구유간화공예、강저투자화절능강모적선진성.
