红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2012年
12期
3384-3389
,共6页
张宇%金春水%马冬梅%王丽萍
張宇%金春水%馬鼕梅%王麗萍
장우%금춘수%마동매%왕려평
光学检测%双光纤相移点衍射干涉仪%精度分析%波面重复精度
光學檢測%雙光纖相移點衍射榦涉儀%精度分析%波麵重複精度
광학검측%쌍광섬상이점연사간섭의%정도분석%파면중복정도
为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,对其检测方案进行了优化设计,在相移系统和光程差调节系统中引入了特伦结构,并且对光纤端面进行了抛光镀膜处理.将影响干涉仪检测精度及波面重复精度的误差源引入到干涉图中进行整体分析,得到干涉仪的检测精度及波面重复精度,为了验证双光纤相移点衍射干涉仪的切实可行性及理论分析结果的正确性,搭建了原理实验装置,对同一被检光学系统进行了512次测量,将其分成8组,最终8组测量的波面重复精度能够达到0.13 nm,优于λ/4000.
為瞭實現對極紫外光刻物鏡繫統波像差的超高精度檢測,引入瞭雙光纖相移點衍射榦涉儀,對其檢測方案進行瞭優化設計,在相移繫統和光程差調節繫統中引入瞭特倫結構,併且對光纖耑麵進行瞭拋光鍍膜處理.將影響榦涉儀檢測精度及波麵重複精度的誤差源引入到榦涉圖中進行整體分析,得到榦涉儀的檢測精度及波麵重複精度,為瞭驗證雙光纖相移點衍射榦涉儀的切實可行性及理論分析結果的正確性,搭建瞭原理實驗裝置,對同一被檢光學繫統進行瞭512次測量,將其分成8組,最終8組測量的波麵重複精度能夠達到0.13 nm,優于λ/4000.
위료실현대겁자외광각물경계통파상차적초고정도검측,인입료쌍광섬상이점연사간섭의,대기검측방안진행료우화설계,재상이계통화광정차조절계통중인입료특륜결구,병차대광섬단면진행료포광도막처리.장영향간섭의검측정도급파면중복정도적오차원인입도간섭도중진행정체분석,득도간섭의적검측정도급파면중복정도,위료험증쌍광섬상이점연사간섭의적절실가행성급이론분석결과적정학성,탑건료원리실험장치,대동일피검광학계통진행료512차측량,장기분성8조,최종8조측량적파면중복정도능구체도0.13 nm,우우λ/4000.
