红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2012年
12期
3323-3330
,共8页
偏心误差%偏心调整机构%运动学%速度瞬心法%传动比%耦合误差
偏心誤差%偏心調整機構%運動學%速度瞬心法%傳動比%耦閤誤差
편심오차%편심조정궤구%운동학%속도순심법%전동비%우합오차
eccentricity error%lateral adjustment barrel%kinematics%instantaneous center of zero velocity%transmission ratio%parasitic error
在深紫外光刻投影物镜的研制中,彗差和像散的补偿主要依靠光学元件的偏心调整机构.分析其工作原理及传动比特性:首先采用速度瞬心法推导传动比理论计算公式；然后建立偏心调整机构的运动学仿真模型,对输入/输出传动比进行模拟分析,并对光学元件沿X、Y向运动的位移特性进行分析；最后,分析机构沿X、Y向分别运动时正交方向的运动耦合误差.结果表明:通过理论计算和运动学仿真分析得到的传动比极其吻合；光学元件中心沿X、Y向的输出位移和驱动器输入位移均呈强线性关系；在驱动器输入位移为100 μm时,光学元件沿X向的耦合误差为0.16％,沿Y向的耦合误差为0.497％；在驱动器输入位移为2000 μm时,光学元件X向的耦合误差增大到3.486％,沿Y向的耦合误差增大到9.888％；为后续研究提供了理论依据.
在深紫外光刻投影物鏡的研製中,彗差和像散的補償主要依靠光學元件的偏心調整機構.分析其工作原理及傳動比特性:首先採用速度瞬心法推導傳動比理論計算公式；然後建立偏心調整機構的運動學倣真模型,對輸入/輸齣傳動比進行模擬分析,併對光學元件沿X、Y嚮運動的位移特性進行分析；最後,分析機構沿X、Y嚮分彆運動時正交方嚮的運動耦閤誤差.結果錶明:通過理論計算和運動學倣真分析得到的傳動比極其吻閤；光學元件中心沿X、Y嚮的輸齣位移和驅動器輸入位移均呈彊線性關繫；在驅動器輸入位移為100 μm時,光學元件沿X嚮的耦閤誤差為0.16％,沿Y嚮的耦閤誤差為0.497％；在驅動器輸入位移為2000 μm時,光學元件X嚮的耦閤誤差增大到3.486％,沿Y嚮的耦閤誤差增大到9.888％；為後續研究提供瞭理論依據.
재심자외광각투영물경적연제중,혜차화상산적보상주요의고광학원건적편심조정궤구.분석기공작원리급전동비특성:수선채용속도순심법추도전동비이론계산공식；연후건립편심조정궤구적운동학방진모형,대수입/수출전동비진행모의분석,병대광학원건연X、Y향운동적위이특성진행분석；최후,분석궤구연X、Y향분별운동시정교방향적운동우합오차.결과표명:통과이론계산화운동학방진분석득도적전동비겁기문합；광학원건중심연X、Y향적수출위이화구동기수입위이균정강선성관계；재구동기수입위이위100 μm시,광학원건연X향적우합오차위0.16％,연Y향적우합오차위0.497％；재구동기수입위이위2000 μm시,광학원건X향적우합오차증대도3.486％,연Y향적우합오차증대도9.888％；위후속연구제공료이론의거.
