红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2012年
12期
3226-3229
,共4页
胡传炘%胡家晖%黄继强%刘颖%沈忱
鬍傳炘%鬍傢暉%黃繼彊%劉穎%瀋忱
호전흔%호가휘%황계강%류영%침침
纳秒激光%硅光电池%光电转换效率
納秒激光%硅光電池%光電轉換效率
납초격광%규광전지%광전전환효솔
描述了用6 ns波长为1 064nm的激光在SF6中作用于硅表面产生的锥形微观结构过程,测试了经激光处理及未经激光处理之硅晶片制成的硅电池光电转换效率的变化.实验显示,激光处理后的晶片所制电池其光电转换效率提高,其增加量为未经激光处理的电池效率的10%~15%,对这种变化进行了初步机理分析,认为可能与硅逾量电子结合能和Fermi能级有关.激光处理硅晶片的应用,也会进一步改善硅电池制作工艺.
描述瞭用6 ns波長為1 064nm的激光在SF6中作用于硅錶麵產生的錐形微觀結構過程,測試瞭經激光處理及未經激光處理之硅晶片製成的硅電池光電轉換效率的變化.實驗顯示,激光處理後的晶片所製電池其光電轉換效率提高,其增加量為未經激光處理的電池效率的10%~15%,對這種變化進行瞭初步機理分析,認為可能與硅逾量電子結閤能和Fermi能級有關.激光處理硅晶片的應用,也會進一步改善硅電池製作工藝.
묘술료용6 ns파장위1 064nm적격광재SF6중작용우규표면산생적추형미관결구과정,측시료경격광처리급미경격광처리지규정편제성적규전지광전전환효솔적변화.실험현시,격광처리후적정편소제전지기광전전환효솔제고,기증가량위미경격광처리적전지효솔적10%~15%,대저충변화진행료초보궤리분석,인위가능여규유량전자결합능화Fermi능급유관.격광처리규정편적응용,야회진일보개선규전지제작공예.