红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2012年
12期
3198-3201
,共4页
郑婉华%王宇飞%周文君%渠红伟%张建心%齐爱谊%刘磊
鄭婉華%王宇飛%週文君%渠紅偉%張建心%齊愛誼%劉磊
정완화%왕우비%주문군%거홍위%장건심%제애의%류뢰
光子晶体%激光器%面发射%横向腔%阈值电流密度
光子晶體%激光器%麵髮射%橫嚮腔%閾值電流密度
광자정체%격광기%면발사%횡향강%역치전류밀도
首次在无DBR结构的商业外延波导晶片上实现了电泵横向腔光子晶体面发射激光器(LCPCSEL).深孔刻蚀技术使光子晶体深达2.6 μm,穿透有源区,对有源区的模式直接调制.通过较小区域的光子晶体与FP腔的融合集成,利用带边模式Γ2-1的横向振荡垂直输出特性,室温下获得了1553.8 nm的面发射激光,线宽0.4 nm.超低阈值电流密度为667 A/cm2,纵向和横向的远场发散角分别为7.5°和5.5°.LC-PCSEL的设计为电注入面发射激光器的研制提供了新的思路,为该类激光器的批量生产提供了可能.
首次在無DBR結構的商業外延波導晶片上實現瞭電泵橫嚮腔光子晶體麵髮射激光器(LCPCSEL).深孔刻蝕技術使光子晶體深達2.6 μm,穿透有源區,對有源區的模式直接調製.通過較小區域的光子晶體與FP腔的融閤集成,利用帶邊模式Γ2-1的橫嚮振盪垂直輸齣特性,室溫下穫得瞭1553.8 nm的麵髮射激光,線寬0.4 nm.超低閾值電流密度為667 A/cm2,縱嚮和橫嚮的遠場髮散角分彆為7.5°和5.5°.LC-PCSEL的設計為電註入麵髮射激光器的研製提供瞭新的思路,為該類激光器的批量生產提供瞭可能.
수차재무DBR결구적상업외연파도정편상실현료전빙횡향강광자정체면발사격광기(LCPCSEL).심공각식기술사광자정체심체2.6 μm,천투유원구,대유원구적모식직접조제.통과교소구역적광자정체여FP강적융합집성,이용대변모식Γ2-1적횡향진탕수직수출특성,실온하획득료1553.8 nm적면발사격광,선관0.4 nm.초저역치전류밀도위667 A/cm2,종향화횡향적원장발산각분별위7.5°화5.5°.LC-PCSEL적설계위전주입면발사격광기적연제제공료신적사로,위해류격광기적비량생산제공료가능.
