超声扫描显微镜的厚度测量方法
초성소묘현미경적후도측량방법
Research on the Thickness Measurement Based on the Scanning Acoustic Microscope
  • 万方数据
    电子工业专用设备 전자공업전용설비
    EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
    2013年 1期 30-33 ,共4页

    魏鹏%张继静

    위붕%장계정

    超声扫描显微镜%厚度测量%扫描方式 超聲掃描顯微鏡%厚度測量%掃描方式
    초성소묘현미경%후도측량%소묘방식
    基于超声扫描显微镜,在基本的反射扫描方式基础上开发出厚度测量扫描方式.作为实验室中的无损测厚工具,可以精确测量器件或器件中某材料层的厚度.
    기우초성소묘현미경,재기본적반사소묘방식기출상개발출후도측량소묘방식.작위실험실중적무손측후공구,가이정학측량기건혹기건중모재료층적후도.
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