高技术通讯
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고기술통신
HIGH TECHNOLOGY LETTERS
2013年
11期
1206-1212
,共7页
离子刻蚀%三维元胞模型%边界时间最短优先移动法%滚轮搜索法
離子刻蝕%三維元胞模型%邊界時間最短優先移動法%滾輪搜索法
리자각식%삼유원포모형%변계시간최단우선이동법%곤륜수색법
ion etching%three-dimensional cellular model%shortest reach time first move%rolling search algorithm
为了更好地理解和认识刻蚀机理,并为制造工艺提供优化指导,采用三维元胞模型研究了离子刻蚀工艺的表面演化过程.针对三维元胞模型内存使用量大,采用了静态数组和动态双向链表相结合的方式进行信息存储;提出了边界时间最短优先移动法,改进了刻蚀离子入射轨迹计算量大的问题;通过一种降维分量拟合方法实现了刻蚀离子入射角度的快速求解,并重点对用于拟合计算的表面元胞的选取方法进行了改进,提出了滚轮搜索法,提高了拟合的准确度.将该模型应用到硅刻蚀工艺三维仿真中,其模拟结果与相关实验结果对比,验证了该模型对刻蚀工艺描述的有效性.
為瞭更好地理解和認識刻蝕機理,併為製造工藝提供優化指導,採用三維元胞模型研究瞭離子刻蝕工藝的錶麵縯化過程.針對三維元胞模型內存使用量大,採用瞭靜態數組和動態雙嚮鏈錶相結閤的方式進行信息存儲;提齣瞭邊界時間最短優先移動法,改進瞭刻蝕離子入射軌跡計算量大的問題;通過一種降維分量擬閤方法實現瞭刻蝕離子入射角度的快速求解,併重點對用于擬閤計算的錶麵元胞的選取方法進行瞭改進,提齣瞭滾輪搜索法,提高瞭擬閤的準確度.將該模型應用到硅刻蝕工藝三維倣真中,其模擬結果與相關實驗結果對比,驗證瞭該模型對刻蝕工藝描述的有效性.
위료경호지리해화인식각식궤리,병위제조공예제공우화지도,채용삼유원포모형연구료리자각식공예적표면연화과정.침대삼유원포모형내존사용량대,채용료정태수조화동태쌍향련표상결합적방식진행신식존저;제출료변계시간최단우선이동법,개진료각식리자입사궤적계산량대적문제;통과일충강유분량의합방법실현료각식리자입사각도적쾌속구해,병중점대용우의합계산적표면원포적선취방법진행료개진,제출료곤륜수색법,제고료의합적준학도.장해모형응용도규각식공예삼유방진중,기모의결과여상관실험결과대비,험증료해모형대각식공예묘술적유효성.
