低温与超导
低溫與超導
저온여초도
CRYOGENICS AND SUPERCONDUCTIVITY
2014年
1期
40-43
,共4页
化学修饰的Sol-Gel法%YBCO薄膜图形%化学修饰剂
化學脩飾的Sol-Gel法%YBCO薄膜圖形%化學脩飾劑
화학수식적Sol-Gel법%YBCO박막도형%화학수식제
A chemically modified sol-gel method%YBCO film pattern%Chemical modifier
化学修饰的Sol-Gel法因无需光刻胶、腐蚀液被用于YBCO薄膜图形的制备.以丙烯酸(从)、苯酰丙酮(BzAcH)作为化学修饰剂制备YBCO薄膜图形,研究了化学修饰剂、光源、前烘温度和时间、溶洗剂对薄膜图形的最小线宽和质量的影响.
化學脩飾的Sol-Gel法因無需光刻膠、腐蝕液被用于YBCO薄膜圖形的製備.以丙烯痠(從)、苯酰丙酮(BzAcH)作為化學脩飾劑製備YBCO薄膜圖形,研究瞭化學脩飾劑、光源、前烘溫度和時間、溶洗劑對薄膜圖形的最小線寬和質量的影響.
화학수식적Sol-Gel법인무수광각효、부식액피용우YBCO박막도형적제비.이병희산(종)、분선병동(BzAcH)작위화학수식제제비YBCO박막도형,연구료화학수식제、광원、전홍온도화시간、용세제대박막도형적최소선관화질량적영향.
