低温与超导
低溫與超導
저온여초도
CRYOGENICS AND SUPERCONDUCTIVITY
2014年
1期
29-34
,共6页
周家屹%孙庆艳%许令顺%武义锋
週傢屹%孫慶豔%許令順%武義鋒
주가흘%손경염%허령순%무의봉
低温泵%分子筛%活性炭%低温霜
低溫泵%分子篩%活性炭%低溫霜
저온빙%분자사%활성탄%저온상
Cryopump%Molecular Sieve%Activated carbon%Cryocondensate
低温泵广泛应用于真空电子、半导体领域.低温泵的吸附材料对低温泵的工作性能有着重要的影响.综述了低温泵的吸附材料性能与研究现状.首先总结了吸附材料的表征方法及研究内容.然后分别叙述了分子筛、低温霜和活性炭三种低温泵主要用的吸附材料的工作性能,指出其优势和不足.最后以ITER用的低温泵为例说明低温吸附材料的应用.
低溫泵廣汎應用于真空電子、半導體領域.低溫泵的吸附材料對低溫泵的工作性能有著重要的影響.綜述瞭低溫泵的吸附材料性能與研究現狀.首先總結瞭吸附材料的錶徵方法及研究內容.然後分彆敘述瞭分子篩、低溫霜和活性炭三種低溫泵主要用的吸附材料的工作性能,指齣其優勢和不足.最後以ITER用的低溫泵為例說明低溫吸附材料的應用.
저온빙엄범응용우진공전자、반도체영역.저온빙적흡부재료대저온빙적공작성능유착중요적영향.종술료저온빙적흡부재료성능여연구현상.수선총결료흡부재료적표정방법급연구내용.연후분별서술료분자사、저온상화활성탄삼충저온빙주요용적흡부재료적공작성능,지출기우세화불족.최후이ITER용적저온빙위례설명저온흡부재료적응용.
