工业仪表与自动化装置
工業儀錶與自動化裝置
공업의표여자동화장치
INDUSTRIAL INSTRUMENTATION & AUTOMATION
2012年
5期
95-97
,共3页
测量%自动聚焦%微位移测量%光驱激光头
測量%自動聚焦%微位移測量%光驅激光頭
측량%자동취초%미위이측량%광구격광두
介绍了基于象散法的激光自动聚焦原理,论证了利用该原理在金属表面微位移测量技术中的应用,可通过对自动聚焦伺服系统各信号的控制来进行表面形貌的测量.研究并开发了一台基于已有光驱激光头及其伺服电路的经济型三坐标测量仪,使用步进电机带动丝杠传动实现X、Y轴的进给,通过改变步进电机驱动器细分数改变进给步长,读取聚焦良好时音圈电机的加载电压作为该点的Z坐标值.
介紹瞭基于象散法的激光自動聚焦原理,論證瞭利用該原理在金屬錶麵微位移測量技術中的應用,可通過對自動聚焦伺服繫統各信號的控製來進行錶麵形貌的測量.研究併開髮瞭一檯基于已有光驅激光頭及其伺服電路的經濟型三坐標測量儀,使用步進電機帶動絲槓傳動實現X、Y軸的進給,通過改變步進電機驅動器細分數改變進給步長,讀取聚焦良好時音圈電機的加載電壓作為該點的Z坐標值.
개소료기우상산법적격광자동취초원리,론증료이용해원리재금속표면미위이측량기술중적응용,가통과대자동취초사복계통각신호적공제래진행표면형모적측량.연구병개발료일태기우이유광구격광두급기사복전로적경제형삼좌표측량의,사용보진전궤대동사강전동실현X、Y축적진급,통과개변보진전궤구동기세분수개변진급보장,독취취초량호시음권전궤적가재전압작위해점적Z좌표치.
