光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
2期
281-286
,共6页
数字微镜器件%微透镜阵列%泰伯效应%激光并行共焦测量系统
數字微鏡器件%微透鏡陣列%泰伯效應%激光併行共焦測量繫統
수자미경기건%미투경진렬%태백효응%격광병행공초측량계통
针对传统激光并行共焦测量过程中存在的泰伯效应,提出将数字微镜器件(DMD)引入激光并行共焦测量系统来正确辨识正焦面的位置.采用了DMD作为光分束器件,从理论上验证了它是一种投影式的阵列光源,对激光分束后不会在光路方向上产生泰伯像；同时,考虑DMD不能对分束后的光线产生会聚作用,并非高效的并行光源分束器件,本文将DMD与微透镜阵列(MLA)结合构建了单光源双光路并行共焦测量系统.该系统利用DMD光路探测正焦面位置,利用微透镜阵列光路进行精确的共焦测量.实验结果表明,两种光路下的正焦面位置仅相差2 μm,在一个泰伯间距范围之内,可以较好地克服泰伯效应对激光并行共焦测量的影响,进而保证较高精度的并行共焦测量.
針對傳統激光併行共焦測量過程中存在的泰伯效應,提齣將數字微鏡器件(DMD)引入激光併行共焦測量繫統來正確辨識正焦麵的位置.採用瞭DMD作為光分束器件,從理論上驗證瞭它是一種投影式的陣列光源,對激光分束後不會在光路方嚮上產生泰伯像；同時,攷慮DMD不能對分束後的光線產生會聚作用,併非高效的併行光源分束器件,本文將DMD與微透鏡陣列(MLA)結閤構建瞭單光源雙光路併行共焦測量繫統.該繫統利用DMD光路探測正焦麵位置,利用微透鏡陣列光路進行精確的共焦測量.實驗結果錶明,兩種光路下的正焦麵位置僅相差2 μm,在一箇泰伯間距範圍之內,可以較好地剋服泰伯效應對激光併行共焦測量的影響,進而保證較高精度的併行共焦測量.
침대전통격광병행공초측량과정중존재적태백효응,제출장수자미경기건(DMD)인입격광병행공초측량계통래정학변식정초면적위치.채용료DMD작위광분속기건,종이론상험증료타시일충투영식적진렬광원,대격광분속후불회재광로방향상산생태백상；동시,고필DMD불능대분속후적광선산생회취작용,병비고효적병행광원분속기건,본문장DMD여미투경진렬(MLA)결합구건료단광원쌍광로병행공초측량계통.해계통이용DMD광로탐측정초면위치,이용미투경진렬광로진행정학적공초측량.실험결과표명,량충광로하적정초면위치부상차2 μm,재일개태백간거범위지내,가이교호지극복태백효응대격광병행공초측량적영향,진이보증교고정도적병행공초측량.
