光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
2期
267-273
,共7页
林旭东%刘欣悦%王建立%王富国%卫沛锋
林旭東%劉訢悅%王建立%王富國%衛沛鋒
림욱동%류흔열%왕건립%왕부국%위패봉
自适应光学%变形镜%性能测试%校正能力%动态响应
自適應光學%變形鏡%性能測試%校正能力%動態響應
자괄응광학%변형경%성능측시%교정능력%동태향응
自制了一个137单元分立促动器的连续镜面式变形镜,用于自适应光学相关技术的研究.首先,利用Zygo激光干涉仪对变形镜的静态性能进行了测试,包括面形测试、单个促动器的响应测试和耦合测试；然后,针对变形镜的校正能力,分别进行了Zernike多项式拟合和展平测试,并利用自适应光学实验平台实验验证了变形镜的校正能力；最后,利用搭建的快速响应测量平台测试了变形镜及其驱动电路的动态响应性能.测试及实验表明,137单元变形镜静态展平后的面形RMS值优于λ/50,PV值优于0.18λ(λ=632.8 nm)；能够对前7阶Zernike多项式进行较好的拟合和校正；变形镜及其高压驱动器的动态响应优于1 kHz;该变形镜能使系统的Strehl ratio从小于0.1提高到优于0.9,明显改善了系统的成像能力.
自製瞭一箇137單元分立促動器的連續鏡麵式變形鏡,用于自適應光學相關技術的研究.首先,利用Zygo激光榦涉儀對變形鏡的靜態性能進行瞭測試,包括麵形測試、單箇促動器的響應測試和耦閤測試；然後,針對變形鏡的校正能力,分彆進行瞭Zernike多項式擬閤和展平測試,併利用自適應光學實驗平檯實驗驗證瞭變形鏡的校正能力；最後,利用搭建的快速響應測量平檯測試瞭變形鏡及其驅動電路的動態響應性能.測試及實驗錶明,137單元變形鏡靜態展平後的麵形RMS值優于λ/50,PV值優于0.18λ(λ=632.8 nm)；能夠對前7階Zernike多項式進行較好的擬閤和校正；變形鏡及其高壓驅動器的動態響應優于1 kHz;該變形鏡能使繫統的Strehl ratio從小于0.1提高到優于0.9,明顯改善瞭繫統的成像能力.
자제료일개137단원분립촉동기적련속경면식변형경,용우자괄응광학상관기술적연구.수선,이용Zygo격광간섭의대변형경적정태성능진행료측시,포괄면형측시、단개촉동기적향응측시화우합측시；연후,침대변형경적교정능력,분별진행료Zernike다항식의합화전평측시,병이용자괄응광학실험평태실험험증료변형경적교정능력；최후,이용탑건적쾌속향응측량평태측시료변형경급기구동전로적동태향응성능.측시급실험표명,137단원변형경정태전평후적면형RMS치우우λ/50,PV치우우0.18λ(λ=632.8 nm)；능구대전7계Zernike다항식진행교호적의합화교정；변형경급기고압구동기적동태향응우우1 kHz;해변형경능사계통적Strehl ratio종소우0.1제고도우우0.9,명현개선료계통적성상능력.
