四川兵工学报
四川兵工學報
사천병공학보
SICHUAN ORDNANCE JOURNAL
2012年
8期
105-107
,共3页
光学薄膜%制备技术%气相沉积%液相沉积
光學薄膜%製備技術%氣相沉積%液相沉積
광학박막%제비기술%기상침적%액상침적
随着科学技术的进步,光学薄膜及相关技术不论从广度还是深度来看都得到了显著发展,并逐渐渗透到现代技术和高端技术等领域。对光学薄膜的3种制备技术:物理气相学沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)和化学液相沉积(CLD)进行了分析。综述了几种新型光学薄膜(金刚石薄膜及类金刚石薄膜、软X射线多层膜、太阳能选择性吸收膜、高强度激光膜)的研究进展以及光学薄膜的应用情况。
隨著科學技術的進步,光學薄膜及相關技術不論從廣度還是深度來看都得到瞭顯著髮展,併逐漸滲透到現代技術和高耑技術等領域。對光學薄膜的3種製備技術:物理氣相學沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)和化學液相沉積(CLD)進行瞭分析。綜述瞭幾種新型光學薄膜(金剛石薄膜及類金剛石薄膜、軟X射線多層膜、太暘能選擇性吸收膜、高彊度激光膜)的研究進展以及光學薄膜的應用情況。
수착과학기술적진보,광학박막급상관기술불론종엄도환시심도래간도득도료현저발전,병축점삼투도현대기술화고단기술등영역。대광학박막적3충제비기술:물리기상학침적(PVD)、화학기상침적(CVD)화화학액상침적(CLD)진행료분석。종술료궤충신형광학박막(금강석박막급류금강석박막、연X사선다층막、태양능선택성흡수막、고강도격광막)적연구진전이급광학박막적응용정황。