科协论坛：下半月
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Science & Technology Association Forum
2012年
8期
118-119
,共2页
三氯氢硅%尾气处理%变压吸附
三氯氫硅%尾氣處理%變壓吸附
삼록경규%미기처리%변압흡부
介绍了三氯氢硅生产过程中尾气的产生,变压吸附装置的工艺、原理以及在三氯氢硅尾气处理中的应用。
介紹瞭三氯氫硅生產過程中尾氣的產生,變壓吸附裝置的工藝、原理以及在三氯氫硅尾氣處理中的應用。
개소료삼록경규생산과정중미기적산생,변압흡부장치적공예、원리이급재삼록경규미기처리중적응용。
