计算机工程
計算機工程
계산궤공정
COMPUTER ENGINEERING
2014年
4期
258-261,268
,共5页
多项目晶圆%布图规划%模拟退火算法%代价函数%缺陷率模型%布图尺寸约束
多項目晶圓%佈圖規劃%模擬退火算法%代價函數%缺陷率模型%佈圖呎吋約束
다항목정원%포도규화%모의퇴화산법%대개함수%결함솔모형%포도척촌약속
Multi-project Wafer(MPW)%floorplanning%simulated annealing algorithm%cost function%defect rate model%Reticle Size Constraint(RSC)
针对随机缺陷会降低多项目晶圆实际产出的问题,提出一种新的多项目晶圆布图规划算法.通过在布图规划中引入缺陷率模型的方法,增加芯片产量的裕量,降低因随机缺陷造成的产量损失.同时优化模拟退火流程,使得在布图尺寸约束条件下,布图规划过程能够跳出局部最优解陷阱.对工业实例进行布图规划的结果表明,该算法能够接受不满足布图尺寸约束条件的中间结果,从而遍历解空间,得到全局最优的布图,并且相对已有算法,使用相同数量晶圆进行切割时,算法的布图结果增加了137％的芯片产量的总裕量,同时,降低了25％的工作芯片所需要生产的晶圆数量.
針對隨機缺陷會降低多項目晶圓實際產齣的問題,提齣一種新的多項目晶圓佈圖規劃算法.通過在佈圖規劃中引入缺陷率模型的方法,增加芯片產量的裕量,降低因隨機缺陷造成的產量損失.同時優化模擬退火流程,使得在佈圖呎吋約束條件下,佈圖規劃過程能夠跳齣跼部最優解陷阱.對工業實例進行佈圖規劃的結果錶明,該算法能夠接受不滿足佈圖呎吋約束條件的中間結果,從而遍歷解空間,得到全跼最優的佈圖,併且相對已有算法,使用相同數量晶圓進行切割時,算法的佈圖結果增加瞭137％的芯片產量的總裕量,同時,降低瞭25％的工作芯片所需要生產的晶圓數量.
침대수궤결함회강저다항목정원실제산출적문제,제출일충신적다항목정원포도규화산법.통과재포도규화중인입결함솔모형적방법,증가심편산량적유량,강저인수궤결함조성적산량손실.동시우화모의퇴화류정,사득재포도척촌약속조건하,포도규화과정능구도출국부최우해함정.대공업실례진행포도규화적결과표명,해산법능구접수불만족포도척촌약속조건적중간결과,종이편력해공간,득도전국최우적포도,병차상대이유산법,사용상동수량정원진행절할시,산법적포도결과증가료137％적심편산량적총유량,동시,강저료25％적공작심편소수요생산적정원수량.
