电子测试
電子測試
전자측시
ELECTRONIC TEST
2012年
8期
68-73
,共6页
集成电路%晶圆测试(CP)%自动测试设备(ATE)%BIN分设置
集成電路%晶圓測試(CP)%自動測試設備(ATE)%BIN分設置
집성전로%정원측시(CP)%자동측시설비(ATE)%BIN분설치
Integrated Circuit(IC)%wafer testing(CP)%Automatic Test Equipment(ATE)%BIN set
本文介绍了一种集成电路晶圆测试过程中自动测试设备测试程序的BIN分设置的改善方案。通过设置多个PASSBIN,巧妙地应用了自动测试设备的BIN分类功能,从晶圆测试的汇总结果中直接得到关键参数的分布规律,避免了原来需要通过分析自动测试设备记录的详细数据才能得到分布规律的情况,省去了集成电路工程晶圆需要进行二次测试才能进行分类的步骤,对缩短集成电路工程品的测试周期、加强量产产品的工艺监控、提升晶圆测试的品质具有重要意义。
本文介紹瞭一種集成電路晶圓測試過程中自動測試設備測試程序的BIN分設置的改善方案。通過設置多箇PASSBIN,巧妙地應用瞭自動測試設備的BIN分類功能,從晶圓測試的彙總結果中直接得到關鍵參數的分佈規律,避免瞭原來需要通過分析自動測試設備記錄的詳細數據纔能得到分佈規律的情況,省去瞭集成電路工程晶圓需要進行二次測試纔能進行分類的步驟,對縮短集成電路工程品的測試週期、加彊量產產品的工藝鑑控、提升晶圓測試的品質具有重要意義。
본문개소료일충집성전로정원측시과정중자동측시설비측시정서적BIN분설치적개선방안。통과설치다개PASSBIN,교묘지응용료자동측시설비적BIN분류공능,종정원측시적회총결과중직접득도관건삼수적분포규률,피면료원래수요통과분석자동측시설비기록적상세수거재능득도분포규률적정황,성거료집성전로공정정원수요진행이차측시재능진행분류적보취,대축단집성전로공정품적측시주기、가강양산산품적공예감공、제승정원측시적품질구유중요의의。
This paper introduces an improvement application for the BIN set of ATE test program in IC wafer testing.By setting multi-Pass Bins and using ATE＇s Bin sort functions skillfully,key parameter profiles can be obtained directly From wafer testing total report without analyzing ATE＇s detail Data log.At the meantime,The second wafer testing is not necessary for engineer IC wafer project.This plan is of great significance to shorten the test cycle of IC in engineering level,enhance process monitoring of IC in mass production level,and improve the quality of wafer testing.
