河北科技大学学报
河北科技大學學報
하북과기대학학보
JOURNAL OF THE HEBEI UNIVERSITY OF SCIENCE AND ECHNOLOGY
2013年
6期
501-506
,共6页
高玉飞%葛培琪%刘全斌%毕文波
高玉飛%葛培琪%劉全斌%畢文波
고옥비%갈배기%류전빈%필문파
SiC单晶%线锯切割%表面质量%金刚石锯丝
SiC單晶%線鋸切割%錶麵質量%金剛石鋸絲
SiC단정%선거절할%표면질량%금강석거사
SiC single crystal%wire saw slicing%surface quality%diamond wire saw
针对碳化硅(SiC)单晶硬度高、脆性大,金刚石线锯切片时工具磨损快、切割效率低、晶片表面亚表面易出现微破碎损伤,使SiC单晶高质量切片和高性能锯丝制造技术成为关键和难点的状况,综述了SiC单晶线锯切片及电镀金刚石锯丝制造技术的研究现状,对其中存在的问题进行了概括与分析,并提出了SiC单晶金刚石线锯切片技术的未来研究方向.
針對碳化硅(SiC)單晶硬度高、脆性大,金剛石線鋸切片時工具磨損快、切割效率低、晶片錶麵亞錶麵易齣現微破碎損傷,使SiC單晶高質量切片和高性能鋸絲製造技術成為關鍵和難點的狀況,綜述瞭SiC單晶線鋸切片及電鍍金剛石鋸絲製造技術的研究現狀,對其中存在的問題進行瞭概括與分析,併提齣瞭SiC單晶金剛石線鋸切片技術的未來研究方嚮.
침대탄화규(SiC)단정경도고、취성대,금강석선거절편시공구마손쾌、절할효솔저、정편표면아표면역출현미파쇄손상,사SiC단정고질량절편화고성능거사제조기술성위관건화난점적상황,종술료SiC단정선거절편급전도금강석거사제조기술적연구현상,대기중존재적문제진행료개괄여분석,병제출료SiC단정금강석선거절편기술적미래연구방향.
