中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2014年
1期
92-96,102
,共6页
张彧%王文%赵小林%丁桂甫
張彧%王文%趙小林%丁桂甫
장욱%왕문%조소림%정계보
微泵%微型阀%静电驱动%柔性振膜
微泵%微型閥%靜電驅動%柔性振膜
미빙%미형벌%정전구동%유성진막
micropump%microvalve%electrostatic%flexible membrane
将最小能量法与均匀压力载荷下圆薄膜大变形半解析解相结合,分析了静电驱动柔性微型阀对静电驱动振膜微泵压升性能的影响.微型阀容积的引入会导致静电驱动振膜微泵的压升出现一定程度的降低,但降低幅度远小于阀门容积对常规定排量泵的影响.微型阀的阀片以柔性薄膜为基片,因此所需的关阀电压远远低于微泵泵腔的驱动电压,从而使静电微泵和微型阀运行的可靠性得到了极大的提高.
將最小能量法與均勻壓力載荷下圓薄膜大變形半解析解相結閤,分析瞭靜電驅動柔性微型閥對靜電驅動振膜微泵壓升性能的影響.微型閥容積的引入會導緻靜電驅動振膜微泵的壓升齣現一定程度的降低,但降低幅度遠小于閥門容積對常規定排量泵的影響.微型閥的閥片以柔性薄膜為基片,因此所需的關閥電壓遠遠低于微泵泵腔的驅動電壓,從而使靜電微泵和微型閥運行的可靠性得到瞭極大的提高.
장최소능량법여균균압력재하하원박막대변형반해석해상결합,분석료정전구동유성미형벌대정전구동진막미빙압승성능적영향.미형벌용적적인입회도치정전구동진막미빙적압승출현일정정도적강저,단강저폭도원소우벌문용적대상규정배량빙적영향.미형벌적벌편이유성박막위기편,인차소수적관벌전압원원저우미빙빙강적구동전압,종이사정전미빙화미형벌운행적가고성득도료겁대적제고.
