中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2014年
1期
1-6
,共6页
张宝庆%史国权%石广丰%蔡洪彬
張寶慶%史國權%石廣豐%蔡洪彬
장보경%사국권%석엄봉%채홍빈
衍射光栅%有限元%正交试验%模型%工艺%实验
衍射光柵%有限元%正交試驗%模型%工藝%實驗
연사광책%유한원%정교시험%모형%공예%실험
diffraction grating%finite element%orthogonal test%model%process%experiment
目前,“试刻划”加工光栅的工艺模式耗时长、效率低,且机械刻划光栅的槽形无法准确预控.通过纳米压痕实验对光栅刻划铝薄膜的微观结构及力学性能进行了表征,采用DEFORM有限元分析软件并结合正交试验对成槽过程进行了研究,通过对数据进行极差分析和单因素影响规律实验分析,建立了槽底角数学工艺模型.研究结果表明,光栅刻划过程可转化为楔体下压过程,基于有限元模拟实验的槽底角数学工艺模型可用.
目前,“試刻劃”加工光柵的工藝模式耗時長、效率低,且機械刻劃光柵的槽形無法準確預控.通過納米壓痕實驗對光柵刻劃鋁薄膜的微觀結構及力學性能進行瞭錶徵,採用DEFORM有限元分析軟件併結閤正交試驗對成槽過程進行瞭研究,通過對數據進行極差分析和單因素影響規律實驗分析,建立瞭槽底角數學工藝模型.研究結果錶明,光柵刻劃過程可轉化為楔體下壓過程,基于有限元模擬實驗的槽底角數學工藝模型可用.
목전,“시각화”가공광책적공예모식모시장、효솔저,차궤계각화광책적조형무법준학예공.통과납미압흔실험대광책각화려박막적미관결구급역학성능진행료표정,채용DEFORM유한원분석연건병결합정교시험대성조과정진행료연구,통과대수거진행겁차분석화단인소영향규률실험분석,건립료조저각수학공예모형.연구결과표명,광책각화과정가전화위설체하압과정,기우유한원모의실험적조저각수학공예모형가용.
