光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
8期
1929-1935
,共7页
高松涛%王高文%张健%隋永新%杨怀江
高鬆濤%王高文%張健%隋永新%楊懷江
고송도%왕고문%장건%수영신%양부강
非球面检测%畸变校正%干涉仪%计算全息图
非毬麵檢測%畸變校正%榦涉儀%計算全息圖
비구면검측%기변교정%간섭의%계산전식도
aspheric surface testing%distortion correction%interferometer%Computer-generated Hologram(CGH)
针对用计算全息图(CGH)对非球面进行检测时出现的非对称畸变,分析了3种基本的畸变模型,提出了一种有效的校正非对称畸变的方法.该方法采用较少的拟合参数即可实现对非对称畸变的精确校正,从而可以较大程度地减少畸变校正所需要的数据点对,避免过度拟合效应.通过光学仿真模拟分析了整个干涉仪系统的畸变,并利用以上方法对畸变进行了校正.仿真结果显示,畸变校正的相对残差小于0.2％.最后,设计并制作了处于离轴工作状态的CGH,并用此CGH对非球面进行了检测.利用上述畸变校正方法对测量的非球面面形进行校正,并用校正之后的结果进行加工迭代,最终非球面面形的收敛精度达到1.8 nm(RMS),得到的结果验证了提出的畸变校正方法的可靠性.
針對用計算全息圖(CGH)對非毬麵進行檢測時齣現的非對稱畸變,分析瞭3種基本的畸變模型,提齣瞭一種有效的校正非對稱畸變的方法.該方法採用較少的擬閤參數即可實現對非對稱畸變的精確校正,從而可以較大程度地減少畸變校正所需要的數據點對,避免過度擬閤效應.通過光學倣真模擬分析瞭整箇榦涉儀繫統的畸變,併利用以上方法對畸變進行瞭校正.倣真結果顯示,畸變校正的相對殘差小于0.2％.最後,設計併製作瞭處于離軸工作狀態的CGH,併用此CGH對非毬麵進行瞭檢測.利用上述畸變校正方法對測量的非毬麵麵形進行校正,併用校正之後的結果進行加工迭代,最終非毬麵麵形的收斂精度達到1.8 nm(RMS),得到的結果驗證瞭提齣的畸變校正方法的可靠性.
침대용계산전식도(CGH)대비구면진행검측시출현적비대칭기변,분석료3충기본적기변모형,제출료일충유효적교정비대칭기변적방법.해방법채용교소적의합삼수즉가실현대비대칭기변적정학교정,종이가이교대정도지감소기변교정소수요적수거점대,피면과도의합효응.통과광학방진모의분석료정개간섭의계통적기변,병이용이상방법대기변진행료교정.방진결과현시,기변교정적상대잔차소우0.2％.최후,설계병제작료처우리축공작상태적CGH,병용차CGH대비구면진행료검측.이용상술기변교정방법대측량적비구면면형진행교정,병용교정지후적결과진행가공질대,최종비구면면형적수렴정도체도1.8 nm(RMS),득도적결과험증료제출적기변교정방법적가고성.
