陶瓷学报
陶瓷學報
도자학보
JOURNAL OF CERAMICS
2013年
4期
548-554
,共7页
WO3%氢气传感器%溶胶-凝胶法%电沉积法%蒸发法%溅射法
WO3%氫氣傳感器%溶膠-凝膠法%電沉積法%蒸髮法%濺射法
WO3%경기전감기%용효-응효법%전침적법%증발법%천사법
WO3%hydrogen sensor%sol-gel%electrodeposition%evaporation%sputtering
WO3作为氢敏材料而具有优良的传感性能,目前广泛地应用于氢气传感器研究中.本文介绍了WO3氢气传感器的工作原理,以及近几年WO3氢气传感器的研究进展,主要介绍WO3气敏薄膜的制备方法,包括电沉积法、蒸发法、溅射法、溶胶-凝胶法等,并讨论了今后WO3氢气传感器的研究方向.
WO3作為氫敏材料而具有優良的傳感性能,目前廣汎地應用于氫氣傳感器研究中.本文介紹瞭WO3氫氣傳感器的工作原理,以及近幾年WO3氫氣傳感器的研究進展,主要介紹WO3氣敏薄膜的製備方法,包括電沉積法、蒸髮法、濺射法、溶膠-凝膠法等,併討論瞭今後WO3氫氣傳感器的研究方嚮.
WO3작위경민재료이구유우량적전감성능,목전엄범지응용우경기전감기연구중.본문개소료WO3경기전감기적공작원리,이급근궤년WO3경기전감기적연구진전,주요개소WO3기민박막적제비방법,포괄전침적법、증발법、천사법、용효-응효법등,병토론료금후WO3경기전감기적연구방향.
