航空材料学报
航空材料學報
항공재료학보
JOURNAL OF AERONAUTICAL MATERIALS
2014年
1期
39-45
,共7页
周小军%易健宏%倪成林%徐成竹%黄峰%张学东%徐英
週小軍%易健宏%倪成林%徐成竹%黃峰%張學東%徐英
주소군%역건굉%예성림%서성죽%황봉%장학동%서영
磁控溅射交替沉积%VC/Ni%纳米叠层%调制周期%韧性
磁控濺射交替沉積%VC/Ni%納米疊層%調製週期%韌性
자공천사교체침적%VC/Ni%납미첩층%조제주기%인성
magnetron sputtering alternating deposition%VC/Ni%nano-laminated%modulation period%toughness
采用中频脉冲磁控溅射双靶交替沉积,制备了调制周期为4nm,12nm和88nm的VC/Ni纳米叠层薄膜以及纯VC薄膜.利用XRD和SEM对薄膜结构进行分析,并通过纳米压痕和维氏压痕对薄膜的硬度、模量以及韧性进行了表征.结果表明:双靶交替沉积制备的VC/Ni纳米叠层薄膜界面清晰、薄膜生长比较致密;三种周期的叠层薄膜硬度均为20GPa,与纯VC薄膜相比韧性得到了明显的改善;随着调制周期的增加,发现VC/Ni纳米叠层薄膜的硬度先增大后减小,韧性先降低,后提高,存在一个性能转折的临界周期.
採用中頻脈遲磁控濺射雙靶交替沉積,製備瞭調製週期為4nm,12nm和88nm的VC/Ni納米疊層薄膜以及純VC薄膜.利用XRD和SEM對薄膜結構進行分析,併通過納米壓痕和維氏壓痕對薄膜的硬度、模量以及韌性進行瞭錶徵.結果錶明:雙靶交替沉積製備的VC/Ni納米疊層薄膜界麵清晰、薄膜生長比較緻密;三種週期的疊層薄膜硬度均為20GPa,與純VC薄膜相比韌性得到瞭明顯的改善;隨著調製週期的增加,髮現VC/Ni納米疊層薄膜的硬度先增大後減小,韌性先降低,後提高,存在一箇性能轉摺的臨界週期.
채용중빈맥충자공천사쌍파교체침적,제비료조제주기위4nm,12nm화88nm적VC/Ni납미첩층박막이급순VC박막.이용XRD화SEM대박막결구진행분석,병통과납미압흔화유씨압흔대박막적경도、모량이급인성진행료표정.결과표명:쌍파교체침적제비적VC/Ni납미첩층박막계면청석、박막생장비교치밀;삼충주기적첩층박막경도균위20GPa,여순VC박막상비인성득도료명현적개선;수착조제주기적증가,발현VC/Ni납미첩층박막적경도선증대후감소,인성선강저,후제고,존재일개성능전절적림계주기.
